Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Roll-to-Roll Sputter Deposition of Low Resistance Electrodes on Ultrathin Glass
Fahland, Matthias; Garner, Sean; Pollack, Gerd
Konferenzbeitrag
2019Roll-to-roll sputtering of indium tin oxide layers onto ultrathin flexible glass
Fahland, Matthias; Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Vondkar, Komal; Werner, Torsten; Ottermann, Clemens; Berendt, Markus; Pollak, Gerd
Zeitschriftenaufsatz
2018Roll to roll deposition of transparent electrodes on permeation barrier coatings
Fahland, Matthias; Vogt, Tobias; Meyer, Uwe; Prager, Nicole; Fahlteich, John
Konferenzbeitrag
2018Roll-to-roll deposition of permeation barrier layers using a rotatable dual magnetron sputtering system
Himmler, Anika; Fahland, Matthias; Linß, Volker
Konferenzbeitrag
2018Roll-to-roll deposition of silicon oxynitride layers on polymer films using a rotatable dual magnetron system
Himmler, Anika; Fahland, Matthias; Linß, Volker
Zeitschriftenaufsatz
2018Roll-to-roll processing of functional films for flexible electronics
Fahlteich, John; Fahland, Matthias; Kudlacek, Pavel; Manders, Wiel; Junghähnel, Manuela; Mogck, Stefan; Keibler, Claudia
Konferenzbeitrag
2018Roll-to-roll sputtering of oxide layers into ultrathin flexible glass
Fahland, Matthias; Dietsch, Tina; Ottermann, Clemens; Zywitzki, Olaf; Linß, Volker
Konferenzbeitrag
2018Vacuum coating on polymer films for outdoor applications
Steiner, Cindy; Fahlteich, John; Fahland, Matthias
Konferenzbeitrag
2017Plasma auf großer Fläche
Seyfert, U.; Fahland, M.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2016Light management in flexible thin-film solar cells on transparent plastic substrates
Wilken, Karen; Paetzold, Ulrich W.; Meier, Matthias; Ablayev, Gani M.; Terukov, Evgeny I.; Prager, Nicole; Fahland, Matthias; Finger, Friedhelm; Smirnov, Vladimir
Zeitschriftenaufsatz
2016Roll to roll deposition of silicon nitride permeation barrier coatings using rotatable magnetrons
Fahland, M.; Fahlteich, J.; Himmler, A.; Vogt, T.; Zywitzki, O.; Linss, V.
Konferenzbeitrag
2015Improved flexible thin-film solar cells with nanoimprinted light management textures
Wilken, K.; Paetzold, U.W.; Meier, M.; Prager, N.; Fahland, M.; Finger, F.; Smirnov, V.
Konferenzbeitrag
2015Light management in flexible thin-film solar cells - the role of nanoimprinted textures and tilted surfaces
Wilken, Karen; Paetzold, Ulrich W.; Meier, Matthias; Smeets, Michael; Prager, Nicole; Fahland, Matthias; Finger, Friedhelm; Smirnov, Vladimir
Zeitschriftenaufsatz
2015Nanoimprint texturing of transparent flexible substrates for improved light management in thin-film solar cells
Wilken, Karen; Paetzold, Ulrich W.; Meier, Matthias; Prager, Nicole; Fahland, Matthias; Finger, Friedhelm; Smirnov, Vladimir
Zeitschriftenaufsatz
2015Verfahren zum Ausbilden einer elektrisch leitfähigen Struktur auf einem Kunststoffsubstrat
Fahland, Matthias; Graffel, Benjamin; Mattausch, Gösta; Winckler, Falk; Weiss, Stefan; Mosch, Sindy; Jurk, Robert
Patent
2014High rate low pressure plasma-enhanced chemical vapor deposition for barrier and optical coatings
Günther, Steffen; Steiner, C.; Bunk, S.; Fahland, M.; Fahlteich, J.; Meyer, B.; Straach, S.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2014Reaktive sputtering in roll-to-roll coating machines using rotatable magnetrons
Fahland, Matthias; Vogt, Tobias; Dimer, Martin; Khvostikova, Olga
Konferenzbeitrag
2014Recent Developments of Ultrafast Electron Beam Treatment of Transparent Conductive Films
Junghähnel, Manuela; Fahland, Matthias; Meyer, Björn; Bedrich, Karl
Konferenzbeitrag
2014Reel-to-reel processing of highly conductive metal oxides
Fahland, M.
Aufsatz in Buch
2013Antireflexbeschichtung von Kunststofffolien im Vakuum
Fahland, M.
Zeitschriftenaufsatz
2013High rate low pressure plasma-enhanced chemical vapor deposition for barrier and optical coatings
Günther, S.; Fahland, M.; Fahlteich, J.; Meyer, B.; Straach, S.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2012Deposition of full dielectric solar control stack on polymer films using a combined PVD/PECVD approach
Fahland, M.; Vogt, T.; Fahlteich, J.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2012Kunststoffsubstrat mit einer porösen Schicht und Verfahren zur Herstellung der porösen Schicht
Schulz, Ulrike; Munzert, Peter; Fahland, M.; Schönberger, W.
Patent
2012Large area PECVD process using dual rotatable magnetrons
Fahland, M.; Neidhardt, J.; Thielsch, R.; Wahl, A.; Kleinhempel, R.; Blüthner, R.; Preussner, T.
Konferenzbeitrag
2012Verfahren zum Abscheiden einer LiPON-Schicht auf einem Substrat
Günther, S.; Fahland, M.; Morgner, H.; Straach, S.; Meyer, B.
Patent
2012Verfahren zur Modifizierung einer Oberfläche eines Substrats durch Ionenbeschuss
Schulz, Ulrike; Schönberger, Waldemar; Munzert, Peter; Thielsch, Roland; Fahland, Matthias; Kleinhempel, Ronny
Patent
2011All-in-vacuum deposited transparent multilayer barriers on polymer substrates
Fahlteich, J.; Barth, S.; Fahland, M.; Schiller, N.
Zeitschriftenaufsatz
2011Antireflexbeschichtung von Kunststofffolien im Vakuum
Fahland, M.
Aufsatz in Buch
2011Characterization of reactively sputtered permeation barrier materials on polymer substrates
Fahlteich, J.; Schönberger, W.; Fahland, M.; Schiller, N.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Fabrication of stochastic nanostructures on polymer webs for AR-effect using roll-to-roll equipment
Schönberger, W.; Fahland, M.; Munzert, P.; Schulz, U.; Gerlach, G.
Konferenzbeitrag
2011Large-area fabrication of stochastic nano-structures on polymer webs by ion- and plasma treatment
Schönberger, W.; Gerlach, G.; Fahland, M.; Munzert, P.; Schulz, U.; Thielsch, R.; Kleinhempel, R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Thin film growth on nanostructured polymer webs for anti-reflection purposes
Munzert, P.; Schulz, U.; Kaiser, N.; Schönberger, W.; Fahland, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Transparente Barriereschichten auf flexiblen Polymersubstraten
Fahlteich, J.; Fahland, M.; Straach, S.; Günther, S.; Schiller, N.
Zeitschriftenaufsatz
2011Transparente Elektroden auf Kunststofffolien
Fahland, M.
Zeitschriftenaufsatz
2011Vacuum roll-to-roll technologies for transparent barrier films
Fahlteich, J.; Schiller, N.; Fahland, M.; Straach, S.; Günther, S.; Brantz, C.
Konferenzbeitrag
2010All-in-vacuum deposited transparent multilayer barries on polymer substrates
Fahlteich, J.; Barth, S.; Fahland, M.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2010Large-area fabrication of stochastic nano-structures on polymer webs by ion-and plasma treatment
Schönberger, W.; Gerlach, G.; Fahland, M.; Munzert, P.; Schulz, U.
Konferenzbeitrag
2010Recent developments with magnetron PECVD for industrial applications
Nyderle, R.; Fahland, M.; Blüthner, R.; Fahlteich, J.; Bunk, S.
Konferenzbeitrag
2010Transparent conductors on polymer films
Fahland, M.; Vogt, T.; Schoenberger, A.; Mosch, S.
Konferenzbeitrag
2010Transparente leitfähige Elektroden auf Kunststofffolien - aus Sicht der Forschung
Fahland, M.
Zeitschriftenaufsatz
2010Verfahren zum Abscheiden dielektrischer Schichten im Vakuum sowie Verwendung des Verfahrens
Bartzsch, H.; Frach, P.; Fahland, M.; Gottfried, C.; Pötschick, P.
Patent
2010Verfahren zum Vakuumbeschichten eines Substrates mit einem transparenten leitfähigen Metallegierungsoxid sowie eine transparente leitfähige Schicht aus einem Metallegierungsoxid
Fahland, M.; Schönberger, A.; Schönberger, W.; Straach, S.; Schiller, N.
Patent
2010Vorrichtung zum Beschichten eines Substrates innerhalb einer Vakuumkammer mittels plasmaunterstützer chemischer Dampfabscheidung
Fahland, M.; Bunk, S.; Fahlteich, J.; Blüthner, R.; Zeibe, R.
Patent
2010Zinc oxide based transparent electrodes for flexible thin film devices
Fahland, M.; Vogt, T.; Schönberger, A.
Konferenzbeitrag
2009Deposition of functional coatings on polyethylene terephthalate films by magnetronplasma-enhanced chemical vapour deposition
Fahland, M.; Vogt, T.; Meyer, B.; Fahlteich, J.; Schiller, N.; Vinnichenko, M.; Munnik, F.
Zeitschriftenaufsatz
2009Permeation barrier properties of thin oxide films on flexible polymer substrates
Fahlteich, J.; Fahland, M.; Schönberger, W.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2009Roll-to-roll technology for transparent high barrier films
Schiller, N.; Fahlteich, J.; Fahland, M.; Schönberger, W.
Zeitschriftenaufsatz
2009Transparent barrier coatings on polymer films
Schiller, N.; Fahlteich, J.; Fahland, M.; Straach, S.; Schönberger, W.
Konferenzbeitrag
2008Deposition of functional coatings on PET films by Magnetron-PECVD
Fahland, M.; Vogt, T.; Meyer, B.; Fahlteich, J.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2008Electrically insulating Al2O3 and SiO2 films for sensor and photovoltaic applications deposited by reactive pulse magnetron sputtering, hollow cathode arc activated deposition and magnetron-PECVD
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Fahland, M.; Händel, F.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2008Magnetron-PECVD als neuartiger Beschichtungsprozess zur Herstellung von SiO(x)C(y)-Schichten auf flexiblen Substraten
Fahlteich, J.; Fahland, M.; Schönberger, W.; Meyer, B.; Vogt, T.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2008Mechanical and barrier properties of thin oxide films on flexible polymer substrates
Fahlteich, J.; Schönberger, W.; Meyer, B.; Fahland, M.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2008Optical properties of metal based transparent electrodes on polymer films
Fahland, M.; Vogt, T.; Schönberger, W.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008The quest for transparent barriers on flexible substrates
Fahlteich, J.; Fahland, M.; Schönberger, W.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2008Reel-to-reel processing of highly conductive metal oxides
Fahland, M.
Aufsatz in Buch
2008Roll-to-roll technology for transparent high barrier films
Schiller, N.; Fahlteich, J.; Fahland, M.; Schönberger, W.
Konferenzbeitrag
2008Transparent conductive electrodes for flexible solar cells
Fahland, M.; Vogt, T.; Schönberger, W.; Fahlteich, J.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2008Transparentes Barriereschichtsystem
Fahlteich, J.; Fahland, M.; Schoenberger, W.; Schiller, N.
Patent
2008Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden einer Schicht auf einem Substrat mittels einer plasmagestuetzten chemischen Reaktion
Fahland, M.; Vogt, T.; Guenther, S.; Fahlteich, J.; Schoenberger, W.; Schoenberger, A.
Patent
2008Verfahren zum Abscheiden einer Kratzschutzbeschichtung auf einem Kunststoffsubstrat
Bartzsch, H.; Frach, P.; Taeschner, K.; Gloess, D.; Gottfried, C.; Fahland, M.
Patent
2008Verfahren zum Abscheiden einer Nanokomposit-Schicht auf einem Substrat mittels chemischer Dampfabscheidung
Fahland, M.; Vogt, T.; Günther, S.; Schiller, N.
Patent
2008Vorrichtung und Verfahren zum Abscheiden einer Gradientenschicht
Meyer, B.; Fahland, M.; Günther, S.; Schönberger, W.; Vogt, T.; Fahlteich, J.
Patent
2007Flexcellence: Towards roll-to-roll mass-production of low cost thin film silicon solar cells
Ballif, C.; Terrazzoni-Daudrix, V.; Haug, F.-J.; Fischer, D.; Soppe, W.; Loffler, J.; Andreu, J.; Fahland, M.; Schlemm, H.; Topic, M.
Konferenzbeitrag
2007Open-circuit voltage optimisation of amorphous silicon thin film solar cells for flexible photovoltaics
Sönderström, T.; Haug, F.-J.; Terrazoni-Daudrix, V.; Niquille, X.; Perregaux, S.; Fahland, M.; Ballif, C.
Konferenzbeitrag
2007Permeation barrier properties of oxide layers on polymer film deposited by pulsed magnetron sputtering
Fahlteich, J.; Fahland, M.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2007Transparente Barrierefolie und Verfahren zum Herstellen derselben
Fahland, M.; Vogt, T.; Schiller, N.; Fahlteich, J.; Schönberger, W.
Patent
2007Transparente Kunststofffolie zum Abschirmen elektromagnetischer Wellen und Verfahren zum Herstellen einer solchen Kunststofffolie
Fahland, M.; Vogt, T.; Schiller, N.; Schönberger, W.; Günther, S.; Fahlteich, J.
Patent
2007Verfahren zum Bedampfen bandfoermiger Substrate mit einer transparenten Barriereschicht aus Aluminiumoxid
Schiller, N.; Straach, S.; Raebisch, M.; Fahland, M.; Charton, C.
Patent
2007Vorrichtung zum gleichzeitigen Aufwickeln oder gleichzeitigen Abwickeln mehrerer Baender
Holfeld, A.; Fahland, M.; Seltmann, W.; Zeibe, R.
Patent
2006Antimikrobiell wirkendes Material sowie Verfahren zum Herstellen eines antimikrobiell wirkenden Materials
Fahland, M.; Schiller, N.; Vogt, T.; Fahlteich, J.
Patent
2006Bildwand und Verfahren zur Reduzierung von Speckle-Interferrenzen
Rickers, C.; Fahland, M.; Kopylow, C. von
Patent
2006Correlation of optical, electrical and structural properties of metal oxide - silver multilayer stacks deposited onto polymer film by magnetron sputtering
Thielsch, R.; Boehme, T.; Wahl, A.; Fahland, M.; Voigt, T.; Zysitzki, O.
Konferenzbeitrag
2006Deposition of reflection layers on metal and polymer substrates for the CMS Experiment at CERN
Fahland, M.; Braem, A.
Konferenzbeitrag
2006Development of high barrier films on flexible polymer substrates
Charton, C.; Schiller, N.; Fahland, M.; Holländer, A.; Wedel, A.; Noller, K.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2006Elektrode fuer elektrochemische Farbstoffzelle und Verfahren zum Herstellen derselben
Frach, P.; Gloess, D.; Klinkenberg, S.; Kopte, T.; Fahland, M.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Scheffel, B.
Patent
2006The European project FLEXCELLENCE: Roll to roll technology for the production of high efficiency low cost thin film solar cells
Soppe, W.; Andreu, J.; Fahland, M.; Roth, K.; Topic, M.; Willford, T.
Konferenzbeitrag
2006Verfahren und Vorrichtung zum Einstellen eines Arbeitspunktes beim reaktiven Sputtern
Schönberger, W.; Fahland, M.; Schiller, N.; Schultheiß, E.
Patent
2005Abscheidung niederohmiger transparenter Elektroden auf Kunststofffolien
Fahland, M.; Charton, C.
Konferenzbeitrag
2005Barriereschichten auf Kunststofffolien
Schiller, N.; Fahland, M.; Charton, C.; Straach, S.; Günther, S.
Konferenzbeitrag
2005Flexible Hochbarriereelektrode
Fahland, M.; Charton, C.; Schiller, N.; Rank, R.
Patent
2005Plasma enhanced CVD process using a dual magnetron as plasma source
Charton, C.; Fahland, M.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2005Verfahren zur Herstellung eines Ultrabarriere-Schichtsystems
Charton, C.; Fahland, M.; Krug, M.; Schiller, N.; Straach, S.
Patent
2005Verfahren zur Herstellung eines waermereflektierenden Schichtsystems fuer transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.; Fahland, M.
Patent
2004Adhesion promotion techniques for coating of polymer films
Rank, R.; Wünsche, T.; Fahland, M.; Charton, C.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2004Deposition of high barrier films on flexible polymer substrates
Charton, C.; Schiller, N.; Fahland, M.; Holländer, A.; Wedel, A.; Noller, K.
Konferenzbeitrag
2004Electrical properties of Ag films on polyethylene terephthalate deposited by magnetron sputtering
Charton, C.; Fahland, M.
Zeitschriftenaufsatz
2003High rate deposition of insulating TiO2 and conducting ITO films for optical and display applications
Frach, P.; Glöß, D.; Goedicke, K.; Fahland, M.; Gnehr, W.-M.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2003Membrane fuer elektrostatische Lautsprecher
Gerkinsmeyer, N.; Fahland, M.
Patent
2003Optical properties of thin Ag films deposited by magnetron sputtering
Charton, C.; Fahland, M.
Konferenzbeitrag
2003R&D Services for the Vacuum Web Coating Industry
Schiller, N.; Charton, C.; Rank, R.; Fahland, M.
Konferenzbeitrag
2003Tailoring of Ag thin films for solar control and transparent conductive coatings
Charton, C.; Fahland, M.
Konferenzbeitrag
2003Verfahren zur Abscheidung transparenter silberhaltiger Metallschichten hoher Leitfaehigkeit im Vakuum und Verwendung des Verfahrens
Fahland, M.; Charton, C.; Karlsson, P.
Patent
2003Verfahren zur Herstellung eines waermereflektierenden Schichtsystems fuer transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.; Fahland, M.
Patent
2002Deposition technology of transparent conductive coatings on PET foils
Fahland, M.; Charton, C.; Klein, A.
Konferenzbeitrag
2002Growth of Ag films on PET deposited by magnetron sputtering
Charton, C.; Fahland, M.
Zeitschriftenaufsatz
2001Barrier coatings on plastic web
Schiller, N.; Straach, S.; Fahland, M.; Charton, C.
Konferenzbeitrag
2001Deposition of multilayer optical coatings onto plastic webs by pulse magnetron sputtering
Rank, R.; Fahland, M.; Kirchhoff, V.; Charton, C.; Stöhr, U.
Konferenzbeitrag
2001Development of three-layer OVD coating based on dual-magnetron reactively sputtered dielectric films
Glick, I.; Dobrowolski, J.A.; Fahland, M.; Karlsson, P.; Seltmann, W.
Konferenzbeitrag
2001Kunststofffolien im Vakuum beschichten
Fahland, M.
Zeitschriftenaufsatz
2001Low resistivity transparent electrodes for displays on polymer substrates
Fahland, M.; Karlsson, P.; Charton, C.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2001Optical and electrical properties of sputtered Ag films on PET webs
Charton, C.; Fahland, M.
Konferenzbeitrag
2001Transparent and non-transparent barrier coatings on plastic webs for a wide range of applications
Schiller, N.; Straach, S.; Fahland, M.; Charton, C.
Konferenzbeitrag
2001Verfahren zur Vakuumbeschichtung bandfoermiger transparenter Substrate
Fahland, M.; Zeissig, G.; Charton, C.; Raebisch, M.; Karlsson, P.
Patent
2000Abscheidung optischer Mehrlagenschichten auf Kunststoff-Folien
Fahland, M.
Zeitschriftenaufsatz
2000Coatings of plastic webs by advanced PVD technologies
Schiller, N.; Fahland, M.; Straach, S.
Konferenzbeitrag
2000Low resistivity transparent electrodes for displays on polymer substrates
Fahland, M.; Karlsson, P.; Charton, C.
Konferenzbeitrag
2000Puls Magnetron Sputtern von optischen Mehrlagenschichten auf Kunststofffolien
Fahland, M.; Kirchhoff, V.
Zeitschriftenaufsatz
2000R&D services for the vacuum web coating industry
Schiller, N.; Fahland, M.
Konferenzbeitrag
2000Roll-to-roll deposition of multilayer optical coatings into plastic webs
Fahland, M.; Kirchhoff, V.; Charton, C.; Karlsson, P.
Konferenzbeitrag
2000Sputtered Ag films on polymer webs
Charton, C.; Fahland, M.
Konferenzbeitrag
2000Verfahren zur Ueberwachung einer Wechselspannungs-Entladung an einer Doppelelektrode
Fahland, M.; Milde, F.; Winkler, T.; Fickert, A.; Kirchhoff, V.
Patent
1999Transparent oxide coatings on plastic webs for emerging applications
Schiller, N.; Morgner, H.; Fahland, M.; Straach, S.; Räbisch, M.; Charton, C.
Konferenzbeitrag
1996Adhesion behavior of PVD coatings on ECR plasma and ion beam treated polymer films
Milde, F.; Goedicke, K.; Fahland, M.
Zeitschriftenaufsatz
1995Thermal conductivity measurements on (Pb1-xBax)(Sc0.5Nb0.5)03
Fahland, M.; Mattausch, G.; Hegenbarth, E.
Zeitschriftenaufsatz
1994Untersuchungen zur Wärmeleitfähigkeit von Ferroelektrika bei tiefen Temperaturen
Fahland, M.
Dissertation