Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1999ArF radiation resistance of optical coatings on CaF2 in relation to the surface finish of the substrate
Thielsch, R.; Heber, J.; Duparre, A.; Kaiser, N.; Mann, K.R.; Eva, E.
Konferenzbeitrag
1998Surface finish and optical quality of CaF2 for UV-lithography applications
Duparre, A.; Tielsch, R.; Kaiser, N.; Jakobs, S.; Mann, K.; Eva, E.
Konferenzbeitrag
1996Influence of the number of double layers on the damage threshold of Al2O3/SiO2 and LaF3/MgF2 mirrors at 248 nm
Kaiser, N.; Schallenberg, U.B.; Eva, E.; Mann, K.; Henking, R.; Ristau, D.
Konferenzbeitrag
1996Laser conditioning of LaF3/MgF2 dielectric coatings at 248 nm
Kaiser, N.; Eva, E.; Mann, K.; Henking, R.; Ristau, D.; Anton, B.; Weißbrodt, P.; Mademann, D.; Raupach, L.; Hacker, E.
Zeitschriftenaufsatz
1995High damage threshold Al2O3/SiO2 dielectric coatings for excimer lasers
Kaiser, N.; Schallenberg, U.; Uhlig, H.; Anton, B.; Kaiser, U.; Mann, K.; Eva, E.
Zeitschriftenaufsatz
1995Laser conditioning of LaF3/MgF2 dielectric coatings for excimer lasers
Kaiser, N.; Anton, B.; Jänchen, H.; Mann, K.; Eva, E.; Fischer, C.; Henking, R.; Ristau, D.; Weißbrodt, P.; Mademann, D.; Raupach, L.; Hacker, E.
Konferenzbeitrag
1994Very high damage threshold Al2O3/SiO2 dielectric coatings for excimer lasers
Kaiser, N.; Uhlig, H.; Schallenberg, U.B.; Anton, B.; Kaiser, U.; Mann, K.; Eva, E.
Konferenzbeitrag