Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2012Material properties characterization of BiCMOS BEOL metal stacks for RF-MEMS applications
Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Zhang, W.; Wolansky, D.; Kurth, S.; Erler, B.; Tillack, B.
Konferenzbeitrag
2011Materialcharakterisierung eines komplexen Metallschichtstapels fur einen monolithischintegrierten RF-MEMS-Schalter
Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Tillack, B.; Kurth, S.; Erler, B.
Konferenzbeitrag