Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2010Assessing the mask clamping ability of a low thermal expansion material chuck
Zeuske, J.R.; Vukkadala, P.; Engelstad, R.L.; Mikkelson, A.R.; Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2010Determination of local electrostatic forces for EUVL mask chucks
Kalkowski, G.; Peschel, T.; Risse, S.; Müller, S.; Engelstad, R.L.; Zeuske, J.R.; Vukkadala, P.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz