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2019Adhesive-free bonding of web-like plastic-metal combinations at low temperatures
Lehm, A.; Romstedt, D.; Schoenberner, V.; Meyer, H.T.; Eichler, M.
Konferenzbeitrag
2017Improved bonding behavior by plasma coating for roughened surfaces
Eichler, M.; Nagel, K.; Klages, C.-P.
Abstract
2017Parametric studies on droplet generation reproducibility for applications with biological relevant fluids
Wiedemeier, S.; Eichler, M.; Römer, R.; Grodrian, A.; Lemke, K.; Nagel, K.; Klages, C.-P.; Gastrock, G.
Zeitschriftenaufsatz
2017Stickstofffunktionalisierung. Sauerstofffreie Plasmajet-Vorbehandlung für die Kunststoffaktivierung bei Umgebungsdruck
Eichler, M.; Fischer, V.; Paulmann, S.; Stammen, E.; Thomas, M.; Khosravi, Z.; Hinze, A.; Grishin, A.; Lachmann, K.; Borris, J.; Dohse, A.; Nagel, K.; Dilger, K.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2016Ar-H2 plasma surface treatments of silicon wafers at atmospheric pressure
Hergelová, B.; Eichler, M.; Nagel, K.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2016Control of direct bonding behavior by interlayers
Eichler, M.; Dillmann, H.; Nagel, K.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2016Evaluating possibilities and limitations of liquid sorption thermal energy storage
Eichler, Mathias; Mack, Simone; Hirth, Thomas
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Surface functionalization of microfluidic devices
Eichler, M.; Klages, C.-P.; Lachmann, K.
Aufsatz in Buch
2016Surface preparation and eutectic wafer bonding
Heller, M.W.; Zoberbier, M.; Fujita, T.; Eichler, M.
Konferenzbeitrag
2015Application of polyelectrolyte multilayers for temporary wafer bonding
Dillmann, H.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Abstract
2015Control of surface free energy by patterned etching or coating
Eichler, M.; Nagel, K.; Reim, L.C.; Klages, C.-P.
Abstract
2015WaferBond 2015, Conference on Wafer Bonding for Microsystems, 3D- and Wafer Level Integration. Book of Abstracts
: Knechtel, Roy (Ed.); Eichler, Marko
Tagungsband
2014Temporary wafer bonding by polyelectrolyte interlayers
Eichler, M.; Dillmann, H.; Reim, L.C.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2013Adhesion Improvement by Nitrogen Functionalization of Polymers Using DBD-Based Plasma Sources at Ambient Pressure
Thomas, M.; Eichler, M.; Lachmann, K.; Borris, J.; Hinze, A.; Klages, C.-P.
Aufsatz in Buch
2013Langzeitstabile hydrophobe Oberflächenbeschichtungen für fluidische Systeme
Eichler, M.
Konferenzbeitrag
2012Area-selective microplasma treatment in microfluidic channels for novel fluid phase separators
Eichler, M.; Nagel, K.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2012Formation and photocatalytic decomposition of a pellicle on anatase surfaces
Rupp, F.; Haupt, M.; Eichler, M.; Doering, C.; Klostermann, H.; Scheideler, L.; Lachmann, S.; Oehr, C.; Wendel, H.P.; Decker, E.; Geis-Gerstorfer, J.; Ohle, C. von
Zeitschriftenaufsatz
2012Plasma activation as a pretreatment tool for low-temperature direct wafer bonding in microsystems technology
Eichler, M.; Hennecke, P.; Nagel, K.; Gabriel, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Plasma printing and related techniques - Patterning of surfaces using microplasmas at atmospheric pressure
Thomas, M.; Borris, J.; Dohse, A.; Eichler, M.; Hinze, A.; Lachmann, K.; Nagel, K.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2011Anlagen- und Prozessentwicklung für das Niedrigtemperatur-Direktbonden mittels Atmosphärendruck-Plasmaaktivierung
Eichler, M.
Dissertation
2011Fluidischer Separator für Zweiphasengemische
Eichler, M.; Nagel, K.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2011The impact of dendrimer-grafted modifications to model silicon surfaces on protein adsorption and bacterial adhesion
Eichler, M.; Katzur, V.; Scheideler, L.; Haupt, M.; Geis-Gerstorfer, J.; Schmalz, G.; Ruhl, S.; Müller, R.; Rupp, F.
Zeitschriftenaufsatz
2011Mechanism and prevention of defect formation during hydrophilic silicon direct bonding at low temperatures
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2011Micropatterning using atmospheric pressure plasma processes
Thomas, M.; Borris, J.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2011Niedrigtemperatur-Direktbonden von Silizium-, Borosilikat- und Quarzglaswafern und der Einfluss von Funktionsschichten
Eichler, M.; Hennecke, P.; Michel, B.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2010Erzeugung funktioneller Oberflächen durch plasmaunterstützte Beschichtung mittels dielektrischer Barrierenentladung (DBD-PACVD)
Thomas, M.; Eichler, M.; Borris, J.; Lachmann, K.; Barreto, M.C.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2010Local plasma treatment in a mask aligner for selective wafer surface modification
Eichler, M.; Gabriel, M.
Zeitschriftenaufsatz
2010Low-temperature direct bonding of borosilicate, fused silica, and functional coatings
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Gabriel, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2010Multifunctional nature of UV-irradiated nanocrystalline anatase thin films for biomedical applications
Rupp, F.; Haupt, M.; Klostermann, H.; Kim, H.-S.; Eichler, M.; Peetsch, A.; Scheideler, L.; Doering, C.; Oehr, C.; Wendel, H.-P.; Sinn, S.; Decker, E.; Ohle, C. von; Geis-Gerstorfer, J.
Zeitschriftenaufsatz
2009Anatase surface modification of titanium implants offers clinical potential
Rupp, F.; Scheideler, L.; Haupt, M.; Decker, E.; Eichler, M.; Oehr, C.; Ohle, C. von; Sinn, S.; Wendel, H.-P.; Geis-Gerstorfer, J.
Abstract
2009Anatase-coated titanium: Photoinduced hydrophilicity and photocatalytic biodegradation
Rupp, F.; Stephan, I.; Eichler, M.; Scheideler, L.; Decker, E.; Haupt, M.; Oehr, C.; Sinn, S.; Ohle, C. von; Wendel, H.-P.; Geis-Gerstorfer, J.
Zeitschriftenaufsatz
2009Atmospheric-pressure plasma activation of silicon for MEMS packaging
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Bondenergie-Messung in situ während des Temperns beim Direktbonden von Glas und Silizium
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Comparison of bonding kinetics for borosilicate glass and silicon wafers by in situ fracture surface energy measurements during annealing
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Effects of dielectric barrier discharges on silicon surfaces: Surface roughness, cleaning, and oxidation
Michel, B.; Giza, M.; Krumrey, M.; Eichler, M.; Grundmeier, G.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2009Effects on silanol condensation during low temperature silicon fusion bonding
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2009Einsatz von Mikroplasmen für die Herstellung von Silizium-Mehrlagenaufbauten
Eichler, M.; Michel, B.; Gabriel, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2009Investigations on the effect of dielectric barrier discharge (DBD) treatment as a preconditioning method for low temperature silicon wafer bonding
Michel, B.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Investigations on the plasma-surface interaction during DBD-treatment for low-temperature direct silicon wafer bonding
Michel, B.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Lokale Plasma-Behandlung in einem Mask Aligner zur selektiven Veränderung der Oberfläche von Wafern
Gabriel, M.; Milde, S.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Low temperature bonding of hetero-materials using ambient pressure plasma activation
Wiemer, M.; Wünsch, D.; Bräuer, J.; Eichler, M.; Hennecke, P.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2009Multipin ac corona treatment - a new surface activation method for low temperature direct bonding
Michel, B.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Plasmagestützte Oberflächenmodifizierung in fluidischen Systemen mit gedeckelten Kavitäten
Eichler, M.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Surface reactions controlled by dielectric barrier discharge at atmospheric pressure for high performance large-scale production
Eichler, M.; Thomas, M.; Borris, J.; Michel, B.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Untersuchung der Aktivierungseffekte durch DBD bei Atmosphärendruck für das Tieftemperatur-Direktbonden
Michel, B.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Verfahren zum zwischenschichtfreien Verbinden von Substraten, Vorrichtung zur Durchfuehrung einer Plasmabehandlung sowie deren Verwendung
Klages, C.-P.; Michel, B.; Eichler, M.
Patent
2008Allseitige Innenbeschichtung von fluidischen Systemen
Eichler, M.; Berger, C.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2008Atmospheric-pressure plasma pretreatment for direct bonding of silicon wafers at low temperatures
Eichler, M.; Michel, B.; Thomas, M.; Gabriel, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2008Kinetics of silanol condensation for low-temperature direct bonding
Eichler, M.; Michel, B.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2007Atmosphärendruck-Mikroplasmen in der Oberflächentechnik
Thomas, M.; Klages, C.-P.; Eichler, M.; Borris, J.
Konferenzbeitrag
2007Beschichtung der inneren Oberflächen in gedeckelten mikrofluidischen Systemen
Eichler, M.; Berger, C.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2007Bonding and reliability for 3D mechanical, optical and fluidic systems
Wiemer, M.; Bagdahn, J.; Beckert, E.; Eichler, M.; Hollaender, A.; Vogel, D.
Konferenzbeitrag
2007Effects of dielectric barrier discharge treatment on the surface of silicon wafers
Michel, B.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2007Einsatz von Atmosphärendruck-Mikroplasmen für die Aufbau- und Verbindungstechnik
Eichler, M.; Michel, B.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2007Microplasma-based treatment of inner surfaces in microfluidic devices
Klages, C.-P.; Berger, C.; Eichler, M.; Thomas, M.
Zeitschriftenaufsatz
2007Silizium-Aktivierung für das Tieftemperatur-Waferbonden mit Barrierenentladung
Michel, B.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2007Surface technology with cold microplasmas
Klages, C.-P.; Hinze, A.; Lachmann, K.; Berger, C.; Borris, J.; Eichler, M.; Hausen, M. von; Zänker, A.; Thomas, M.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Ambient pressure plasma activation for low temperature bonding
Eichler, M.; Michel, B.; Thomas, M.; Klages, C.-P.; Ruddy, C.; Reinecke, H.; Reiche, M.; Radu, I.; Gabriel, M.
Konferenzbeitrag
2006Anodic and direct bonding of Si and glass - Similarities and distinctions in applications
Gabriel, M.; Cetin, V.; Ludewig, T.; Eichler, M.
Konferenzbeitrag
2006Atmospheric-pressure plasma deposition of coating in microchannels
Klages, C.-P.; Berger, C.; Eichler, M.; Nagel, K.; Thomas, M.
Konferenzbeitrag
2006Coating on the inside of microfluidic systems with DBD based atmospheric pressure PA-CVD
Eichler, M.; Berger, C.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2006Coating with atmospheric pressure plasma processes
Thomas, M.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2006Effects of dielectric barrier discharge treatment on surface chemistry of silicon wafers
Michel, B.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2006Investigation of ignition conditions of atmospheric pressure discharges in sealed microfluidic systems
Eichler, M.; Dziubek, A.; Berger, C.; Kurrat, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2006Patterned DBD pretreatment at ambient pressure for low temperature wafer bonding
Eichler, M.; Michel, B.; Thomas, M.; Ruddy, C.; Reinecke, H.; Reiche, M.; Gabriel, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2006Patterned surface modification using ambient pressure plasma processes for enhanced wafer packaging by low temperature bonding
Eichler, M.; Mewes, H.; Thomas, M.; Klages, C.-P.; Ruddy, C.; Reinecke, H.; Reiche, M.; Gabriel, M.
Konferenzbeitrag
2006Verfahren zum Herstellen eines Bauteils mit einem Hohlraum und Vorrichtung mit einem zur Führung eines Fluids geeigneten Hohlraum
Thomas, M.; Klages, C.; Eichler, M.; Berger, C.
Patent
2006Wafer direct bonding with ambient pressure plasma activation
Gabriel, M.; Johnson, B.; Suss, R.; Reiche, M.; Eichler, M.
Zeitschriftenaufsatz
2005Capabilities of an ambient pressure plasma for activation in LT wafer bonding processes
Gabriel, M.; Cetin, V.; Hansen, S.; Reiche, M.; Radu, I.; Eichler, M.
Konferenzbeitrag
2005Functional coatings deposition in microfluidic systems by dbd-based PA-CVD
Eichler, M.; Thomas, M.; Hacker, J.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2005Innenbehandlung und -beschichtung von gedeckelten mikrofluidischen Systemen
Eichler, M.; Hacker, J.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2005Mechanisms of low-temperature wafer bonding
Reiche, M.; Radu, I.; Gabriel, M.; Zoberbier, M.; Hansen, S.; Eichler, M.
Konferenzbeitrag
2005Oberflächenbeschichtung bei Atmosphärendruck
Thomas, M.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2005Ortsselektive Atmosphärendruck-Plasmavorbehandlung für das Direkt-Wafer-Bonden bei niedrigen Temperaturen
Eichler, M.; Thomas, M.; Mewes, H.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2004Beschichtungsanlage und Verfahren zur Beschichtung
Klages, C.; Eichler, M.
Patent
2004Möglichkeiten und Grenzen der Oberflächentechnik mit Barrierenentladung
Klages, C.-P.; Eichler, M.; Penache, C.; Thomas, M.
Konferenzbeitrag
2003Atmosphärendruck-Plasmaverfahren im Korrosionsschutz
Eichler, M.; Klages, C.-P.; Gessner, C.
Konferenzbeitrag
2003Atmospheric pressure PA-CVD of silicon- and carbon-based coatings using dielectric barrier discharges
Klages, C.-P.; Eichler, M.; Thyen, R.
Zeitschriftenaufsatz
2003Effects of discharge pulsing on the cleaning of surfaces using a dielectric barrier discharge at atmospheric pressure
Kim, Y.-K.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2003Der Funke springt über
Eichler, M.
Zeitschriftenaufsatz
2003Verfahren und Vorrichtung zur plasmagestuetzten Oberflaechenbehandlung und Verwendung des Verfahrens
Klages, C.P.; Thyen, R.; Eichler, M.; Lindmayer, M.
Patent
2002Beschichtung und Reinigung von Oberflächen mit Atmosphärendruck-Plasmen
Klages, C.-P.; Eichler, M.
Zeitschriftenaufsatz
2002Plasmabeschichtung ohne Vakuum
Eichler, M.
Zeitschriftenaufsatz
2002Probing magnetism of nanosized single-domain particle- systems
Hesse, J.; Pütter, S.; Michele, O.; Bremers, H.; Hupe, O.; Hartung, H.; Eichler, M.
Zeitschriftenaufsatz
2001Chemische Funktionalisierung von Oberflächen mit Atmosphärendruck-Plasmen
Klages, C.-P.; Eichler, M.; Steen, N.
Konferenzbeitrag
2000Herstellung und Charakterisierung von Eisen-Carbid-Schichten zur Bestimmung der magnetischen Eigenschaften
Eichler, M.
Diplomarbeit