Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1997New developments of the ELYMAT technique
Eichinger, P.; Rommel, M.
Konferenzbeitrag
1990Meßtechnik und Analytik für Halbleiterfertigungsgeräte
Eichinger, P.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag
1983Application of the bragg-profiling technique to the analysis of metallurical and optical surface layers
Eichinger, P.; Leutenecker, R.; Qiong, L.
Zeitschriftenaufsatz
1983Verfahren und Einrichtung zum Beschichten eines Substrates mit inhomogenen Schichten
Eichinger, P.; Paduschek, P.
Patent
1982Hydrogen content and mechanical stress in glow discharge amorphous silicon
Paduschek, P.; Eichinger, P.; Kristen, G.; Mitlehner, H.
Zeitschriftenaufsatz
1982Non-electrical measuring techniques.
Eichinger, P.; Ryssel, H.
Aufsatz in Buch
1981Hydrogen content and mechanical stress in glow discharge amorphous silicon
Paduschek, P.; Eichinger, P.; Kristen, G.; Mitlehner, H.
Konferenzbeitrag
1981Proton-proton scattering as a tool for hydrogen profiling in thin films for semiconductor technology.
Paduschek, P.; Eichinger, P.
Zeitschriftenaufsatz