Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Verfahren und Schaltungsanordnung zur pulsfoermigen Energieeinspeisung in Magnetronentladungen
Goedicke, K.; Winkler, T.; Junghaehnel, M.; Handt, K.; Gueldner, H.; Wolf, H.; Eckholz, F.
Patent
2000A novel topology for pulse generators in magnetron sputter systems
Güldner, H.; Wolf, G.-K.; Eckholz, F.; Schrade, F.; Winkler, T.; Handt, K.; Junghähnel, M.
Konferenzbeitrag