| | |
|---|
| 2020 | Nanoindentation as part of material characterization of thin metal films
Jöhrmann, N.; Ecke, R.; Wunderle, B. | Konferenzbeitrag |
| 2020 | On the relationship between SiF4 plasma species and sample properties in ultra low-k etching processes
Haase, M.; Melzer, M.; Lang, N.; Ecke, R.; Zimmermann, S.; Helden, J.-P.H. van; Schulz, S.E. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2020 | Thermal kinetics of free volume in porous spin-on dielectrics: Exploring the network- and pore-properties
Attallah, A.G.; Koehler, N.; Liedke, M.O.; Butterling, M.; Hirschmann, E.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Wagner, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2019 | Characterisation of ferroelectric thin films with scanning probe microscope methods
Norouzi Kalkani, Mahsa
: Kämpfe, Thomas (Betreuer); Ecke, Ramona (Betreuer); Schulz, Stefan E. (Gutachter) | Master Thesis |
| 2019 | Spectroscopic ellipsometry and magneto-optical Kerr effect spectroscopy study of thermally treated Co60Fe20B20 thin films
Hoffmann, M.A.; Sharma, A.; Matthes, P.; Okano, S.; Hellwig, O.; Ecke, R.; Zahn, D.R.T.; Salvan, G.; Schulz, S.E. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2018 | Magneto-optical spectroscopy and spectroscopic ellipsometry of Co60Fe20B20 thin films
Sharma, A.; Almeida, M.; Matthes, P.; Ecke, R.; Zahn, D.R.T.; Schulz, S.E.; Salvan, G. | Abstract |
| 2018 | Thermo-mechanical characterisation of thin sputtered copper films on silicon: Towards elasto-plastic, fatigue and subcritical fracture-mechanical data
Wunderle, B.; May, D.; Zschenderlein, U.; Ecke, R.; Springborn, M.; Jöhrmann, N.; Pareek, K.A.; Heilmann, J.; Stiebing, M.; Arnold, J.; Dudek, R.; Schulz, S.; Wolf, M.J.; Rzepka, S. | Konferenzbeitrag |
| 2017 | 3D wafer level packaging by using Cu-through silicon vias for thin MEMS accelerometer packages
Hofmann, L.; Schubert, I.; Wuensch, D.; Ecke, R.; Vogel, K.; Gottfried, K.; Reuter, D.; Rennau, M.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2016 | Atomic layer deposition of ultrathin Cu2O and subsequent reduction to Cu studied by in situ x-ray photoelectron spectroscopy
Dhakal, D.; Assim, K.; Lang, H.; Bruener, P.; Grehl, T.; Georgi, C.; Waechtler, T.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2016 | Characterisation of the barrier formation process of self-forming barriers with CuMn, CuTi and CuZr alloys
Franz, M.; Ecke, R.; Kaufmann, C.; Kriz, J.; Schulz, S.E. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 2016 | Study on TSV isolation liners for a Via Last approach with the use in 3D-WLP for MEMS
Hofmann, L.; Fischer, T.; Werner, T.; Selbmann, F.; Rennau, M.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2015 | 3D integration approaches for MEMS and CMOS sensors based on a Cu through-silicon-via technology and wafer level bonding
Hofmann, L.; Dempwolf, S.; Reuter, D.; Ecke, R.; Gottfried, K.; Schulz, S.E.; Knechtel, R.; Geßner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2015 | 3d Wafer Level Packaging By Using Cu-Through Silicon Vias For Thin Mems Accelerometer Packages
Hofmann, L.; Reuter, D.; Schubert, I.; Wuensch, D.; Rennau, M.; Ecke, R.; Vogel, K.; Gottfried, K.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2015 | High-performance giant magnetoresistive sensorics on flexible Si membranes
Pérez, N.; Melzer, M.; Makarov, D.; Ueberschär, O.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Schmidt, O.G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2015 | Investigation of barrier formation and stability of self-forming barriers with CuMn, CuTi and CuZr alloys
Franz, M.; Ecke, R.; Kaufmann, C.; Kriz, J.; Schulz, S.E. | Konferenzbeitrag |
| 2015 | Monolithic integration of 2D spin valve magnetic field sensors for angular sensing
Almeida, M.J.; Götze, T.; Ueberschär, O.; Matthes, P.; Müller, M.; Ecke, R.; Exner, H.; Schulz, S.E. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 2015 | Monolithic integration of focused 2D GMR spin valve magnetic field sensor for high-sensitivity (compass) applications
Ueberschär, O.; Almeida, M.J.; Matthes, P.; Müller, M.; Ecke, R.; Exner, H.; Schulz, S.E. | Konferenzbeitrag |
| 2015 | Optimized monolithic 2-D spin-valve sensor for high-sensitivity compass applications
Ueberschär, O.; Almeida, M.J.; Matthes, P.; Müller, M.; Ecke, R.; Rückriem, R.; Schuster, J.; Exner, H.; Schulz, S.E. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2015 | Optimum laser exposure for setting exchange bias in spin valve sensors
Almeida, M.J.; Matthes, P.; Ueberschär, O.; Müller, M.; Ecke, R.; Exner, H.; Albrecht, M.; Schulz, S.E. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 2014 | Monolithic microelectronic spin valve compass for autonomous MEMS navigation in geomagnetic field
Almeida, M.J.; Ueberschär, O.; Matthes, P.; Ecke, R.; Mueller, M.; Exner, H.; Schulze, K. | Konferenzbeitrag |
| 2014 | Monolithic spin valve compass for autonomous MEMS navigation in geomagnetic field
Almeida, M.J.; Ueberschär, O.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Matthes, P.; Müller, M.; Exner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2013 | Vertical Integration techniques for MEMS using HAR TSV
Hofmann, L.; Schubert, I.; Ecke, R.; Gottfried, K.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Analysis of pore sealing processes and TiN diffusion barrier deposition on a porous ultra low-k dielectric by ellipsometric porosimetry and PALS
Ahner, N.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Jungmann, M.; Krause-Rehberg, R.; Butterling, M.; Anwand, W.; Wagner, A.; Preusse, A. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Back-end-of the line compatible homogeneous coating of vertical aligned carbon nanotubes with a conductive diffusion barrier for interconnect applications
Fiedler, H.; Ecke, R.; Hermann, S.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Growth of carbon nanotube forests between a bi-metallic catalyst layer and a SiO2 substrate to form a self-assembled carbon-metal heterostructure
Hermann, S.; Schulze, S.; Ecke, R.; Liebig, A.; Schaefer, P.; Zahn, D.R.T.; Albrecht, M.; Hietschold, M.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Investigations regarding through silicon via filling for 3D integration by periodic pulse reverse plating with and without additives
Hofmann, L.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Geßner, T. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Lewis-base copper(I) formates: Synthesis, reaction chemistry, structural characterization and their use as spin-coating precursors for copper deposition
Tuchscherer, A.; Shen, Y.; Jakob, A.; Mothes, R.; Al-Anber, M.; Walfort, B.; Rüffer, T.; Frühauf, S.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Lang, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2010 | Carbon nanotubes for nanoscale low temperature flip chip connections
Hermann, S.; Pahl, B.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Metallisierungsverfahren für die 3D Integration in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
Hofmann, L.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2010 | Phosphite copper(I) trifluoroacetates [((RO)(3)P)(m)CuO2CCF3] (m=1, 2, 3): synthesis, solid state structures and their potential use as CVD precursors
Mothes, R.; Rüffer, T.; Shen, Y.Z.; Jakob, A.; Walfort, B.; Petzold, H.; Schulz, S.E.; Ecke, R.; Gessner, T.; Lang, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2010 | Pulse reverse electroplating for TSV filling in 3D integration
Hofmann, L.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Controlling the formation of nanoparticles for definite growth of carbon nanotubes for interconnect applications
Hermann, S.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Copper oxide films grown by atomic layer deposition from Bis(tri-n-butylphosphane)copper(I)acetylacetonate on Ta, TaN, Ru, and SiO2
Waechtler, T.; Oswald, S.; Roth, N.; Jakob, A.; Lang, H.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Moskvinova, A.; Schulze, S.; Hietschold, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Metallisierungsverfahren für die 3D Integration in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
Hofmann, L.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Process development for smart systems integration in MEMS
Ecke, R.; Frömel, J.; Schulz, S.E.; Wiemer, M.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Through silicon vias in micro-electromechanical systems
Warnat, S.; Ecke, R.; Marenco, N.; Gruenzig, S.; Reinert, W.; Lange, P. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Controlling the formation of nanoparticles for definite growth of carbon nanotubes for interconnect applications
Hermann, S.; Ecke, R.; Schulz, S.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 2008 | Investigations on via geometry and wetting behavior for the filling of through silicon vias by copper electro deposition
Hofmann, L.; Küchler, M.; Gumprecht, T.; Ecke, R.; Schulz, S.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Metallization by chemical vapor deposition of W and Cu
Klumpp, A.; Wieland, R.; Ecke, R.; Schulz, S.E. | Aufsatz in Buch |
| 2007 | 3D-integrated Si- and SiGe CMOS-devices by ICV-SLID technology
Wieland, R.; Ecke, R.; Klumpp, A.; Merkel, R.; Schulz, S.E.; Ramm, P. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Influence of barrier crystallization on CV characteristics of MIS structures
Ecke, R.; Rennau, M.; Zimmermann, S.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Abscheidung (CVD) und Charakterisierung W-basierter Diffusionsbarrieren für die Kupfermetallisierung
Ecke, R. | Dissertation |
| 2003 | Deposition and treatment of titanium based barrier layers by MOCVD
Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Riedel, S.; Lipp, E.; Eizenberg, M. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Influence of SiH4 on the WN4-PECVD process
Ecke, R.; Schulz, S.E.; Hecker, M.; Mattern, N.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | InterChip via technology by using copper for vertical system integration
Ramm, P.; Bonfert, D.; Ecke, R.; Iberl, F.; Klumpp, A.; Riedel, S.; Schulz, S.E.; Wieland, R.; Zacher, M.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Charakterisierung von CVD-WNx-Schichten als Barriere gegen Kupferdiffusion
Ecke, R.; Richter, K.; Schulz, S.E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Copper metallization scheme for vertical chip integration
Riedel, S.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Wieland, R.; Leutenecker, R.; Klumpp, A.; Ramm, P. | Konferenzbeitrag |