Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2003Application of low temperature direct bonding in optical devices and integrated systems
Hiller, K.; Kurth, S.; Neumann, N.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Hanf, M.; Heinz, S.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Ebest, G.
Konferenzbeitrag
2003Development and characterization of a high aspect ratio vertical FET sensor for motion detection
Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Heinz, S.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2001A single-crystal Si-resonator with on-chip readout amplifier in standard CMOS
Bertz, A.; Symanzik, H.; Steiniger, C.; Höffer, A.; Griesbach, K.; Stegemann, K.; Ebest, G.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
1996Coupled finite element and network simulation for microsystem components
Eccardt, P.-C.; Knoth, M.; Ebest, G.; Landes, H.; Clauß, C.; Wünsche, S.
Konferenzbeitrag