Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018LPCVD in-situ doped silicon for thermoelectric applications
Calvo, Jesús; Drescher, Maximilian; Kühnel, Kati; Sauer, Bodo; Müller, Michael; Schmidt, Christian; Boui, Fatima; Völklein, Friedemann; Wagner-Reetz, Maik
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2017Charakterisierung der Zuverlässigkeit in der High-k Metal Gate Technologie
Drescher, Maximilian; Erben, Elke; Grass, Carsten; Trentzsch, Martin; Lazarevic, Florian; Leitsmann, Roman; Plaenitz, Philipp; Mchedlidze, Teimuraz; Seidel, Konrad; Liske, Romy; Bartha, Johann Wolfgang
Konferenzbeitrag
2016La-doped ZrO2 based Back End of Line (BEoL) decoupling capacitors
Weinreich, Wenke; Seidel, Konrad; Polakowski, Patrick; Drescher, Maximilian; Gummenscheimer, A.; Nolan, M.G.; Cheng, L.; Triyoso, D.H.
Poster
2015Integration challenges of ferroelectric hafnium oxide based embedded memory (Invited)
Müller, Johannes; Polakowski, Patrick; Paul, Jan; Riedel, Stefan; Hoffmann, Raik; Drescher, Maximilian; Slesazeck, Stefan; Müller, Stefan; Mulaosmanovic, Halid; Schröder, Uwe; Mikolajick, Thomas; Flachowsky, Stefan; Erben, Elke; Smith, Elliot; Binder, Robert; Triyoso, Dina H.; Metzger, Joachim; Kolodinski, Sabine
Konferenzbeitrag