Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Mikromechanische Struktur, mikromechanisches System und Verfahren zum Bereitstellen einer mikromechanischen Struktur
Drabe, Christian; Dreyhaupt, André
Patent
2016MEMS-mirror based trajectory resolution and precision enabled by two different piezoresistive sensor technologies
Grahmann, Jan; Dreyhaupt, André; Drabe, Christian; Schroedter, Richard; Kamenz, Jörg; Sandner, Thilo
Konferenzbeitrag
2016Scanning optical MEMS with very high frequencies
Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Todt, Ulrich; Flemming, André; Sandner, Thilo; Grahmann, Jan
Vortrag
2015About stress in filled DRIE-trenches
Kaiser, Bert; Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Grahmann, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2014Herstellungsverfahren
Langa, Sergiu; Drabe, Christian; Sandner, Thilo
Patent
2013Room temperature bonding for vacuum applications: Climatic and long time tests
Langa, Sergiu; Utsumi, J.; Ludewig, Thomas; Drabe, Christian
Zeitschriftenaufsatz
2013Wafer level vacuum packaging of micro-mirrors with buried wiring
Langa, Sergiu; Drabe, Christian; Herrmann, Andreas; Ludewig, Thomas; Rieck, Andreas; Flemming, André; Kaden, Christiane
Poster
2013Wafer level vacuum packaging of scanning micro-mirrors using glass-frit and anodic bonding methods
Langa, Sergiu; Drabe, Christian; Kunath, Christian; Dreyhaupt, André; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2011Application specific micro scanning mirrors
Sandner, Thilo; Schenk, Harald; Drabe, Christian
Konferenzbeitrag