Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016MEMS-mirror based trajectory resolution and precision enabled by two different piezoresistive sensor technologies
Grahmann, Jan; Dreyhaupt, André; Drabe, Christian; Schroedter, Richard; Kamenz, Jörg; Sandner, Thilo
Konferenzbeitrag
2016Scanning optical MEMS with very high frequencies
Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Todt, Ulrich; Flemming, André; Sandner, Thilo; Grahmann, Jan
Vortrag
2015About stress in filled DRIE-trenches
Kaiser, Bert; Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Grahmann, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2015Large MOEMS diffraction grating results providing an EC-QCL wavelength scan of 20%
Grahmann, J.; Merten, A.; Herrmann, A.; Ostendorf, R.; Bleh, D.; Drabe, C.; Kamenz, J.
Konferenzbeitrag
2015Wafer level vacuum packaging of micro-mirrors with buried signal lines
Langa, S.; Drabe, C.; Herrmann, A.; Ludewig, T.; Rieck, A.; Flemming, A.; Kaden, C.
Zeitschriftenaufsatz
2014Herstellungsverfahren
Langa, Sergiu; Drabe, Christian; Sandner, Thilo
Patent
2013Room temperature bonding for vacuum applications: Climatic and long time tests
Langa, Sergiu; Utsumi, J.; Ludewig, Thomas; Drabe, Christian
Zeitschriftenaufsatz
2013Wafer level vacuum packaging of micro-mirrors with buried wiring
Langa, Sergiu; Drabe, Christian; Herrmann, Andreas; Ludewig, Thomas; Rieck, Andreas; Flemming, André; Kaden, Christiane
Poster
2013Wafer level vacuum packaging of scanning micro-mirrors using glass-frit and anodic bonding methods
Langa, Sergiu; Drabe, Christian; Kunath, Christian; Dreyhaupt, André; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2012Bi-resonant scanning mirror with piezo-resistive position sensor for WVGA laser projection systems
Drabe, C.; Kallweit, D.; Dreyhaupt, A.; Grahmann, J.; Schenk, H.; Davis, W.
Konferenzbeitrag
2011Application specific micro scanning mirrors
Sandner, Thilo; Schenk, Harald; Drabe, Christian
Konferenzbeitrag
2010MEMS devices for laser camera systems for endoscopic applications
Drabe, C.; James, R.; Schenk, H.; Sandner, T.
Konferenzbeitrag
2010Mikroelektromechanisches Translationsschwingersystem
Schwarzenberg, M.; Drabe, C.
Patent
2009Large stroke MOEMS actuators for optical path length modulation in miniaturized FTIR-spectrometers
Sandner, T.; Drabe, C.; Schenk, H.; Kensa, A.
Konferenzbeitrag
2009Single crystal silicon micro mirrors
Schenk, H.; Sandner, T.; Drabe, C.; Klose, T.; Conrad, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Ultra compact laser based projectors and imagers
Schenk, H.; Sandner, T.; Drabe, C.; Scholles, M.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008Fabrication and characterization of a dynamically flat high resolution micro-scanner
Hsu, S.; Klose, T.; Drabe, C.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2008Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden
Jung, D.; Drabe, C.; Schenk, H.; Sandner, T.; Klose, T.
Patent
2008Silicon-based micro-optic modulators
Schenk, H.; Wagner, M.; Gehner, A.; Müller, M.; Sandner, T.; Drabe, C.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008Translatory MEMS actuators for optical path length modulation in miniaturized fourier-transform infrared spectrometers
Sandner, T.; Drabe, C.; Schenk, H.; Kenda, A.; Scherf, W.
Zeitschriftenaufsatz
2008Two dimensional microscanners with large horizontal-vertical scanning frequency ratio for high resolution laser projectors
Hsu, S.-T.; Klose, T.; Drabe, C.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2008Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur
Jung, D.; Drabe, C.; Sandner, T.; Schenk, H.; Klose, T.; Wolter, A.
Patent
2008Verfahren zur Strukturierung einer Nutzschicht eines Substrats
Drabe, C.; Klose, T.
Patent
20072D-Microscanner mit hoher Auslenkung zur Bildaufnahme
Schenk, H.; Drabe, C.; Klose, T.; Wolter, A.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Auslenkbare Struktur, mikromechanische Struktur mit derselben und Verfahren zur Einstellung einer mikromechanischen Struktur
Drabe, C.
Patent
2007CMOS compatible through wafer interconnects for medical imaging detectors
Vogtmeier, G.; Drabe, C.; Dorscheid, R.; Steadman, R.; Jeroch, W.
Konferenzbeitrag
2007Halbleitersubstrat und Verfahren zur Herstellung
Drabe, C.; Wolter, A.; Bergmann, A.; Vogtmeier, G.; Dorscheid, R.; Steadman, R.
Patent
2007Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit
Klose, T.; Drabe, C.
Patent
2007Mikromechanisches Bauelement zur Modulation von elektromagnetischer Strahlung
Egloff, T.; Knobbe, J.; Grüger, H.; Drabe, C.
Patent
2007Miniaturized FTIR-spectrometer based on optical MEMS translatory actuator
Sandner, T.; Kenda, A.; Drabe, C.; Schenk, H.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2007A new micro laser camera
Drabe, C.; James, R.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Through wafer interconnects - a technology not only for medical applications
Vogtmeier, G.; Drabe, C.; Dorscheid, R.; Steadman, R.; Wolter, A.
Konferenzbeitrag
2007Ultra flat high resolution microscanners
Hsu, S.-T.; Klose, T.; Drabe, C.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2007Update on MEMS-based scanned beam imager
James, R.; Gibson, G.; Metting, F.; Davis, W.; Drabe, C.
Konferenzbeitrag
2007Verfahren zur Herstellung von Substraten
Drabe, C.
Patent
2006Application of a micromachined translatory actuator to an optical FTIR spectrometer
Kenda, A.; Drabe, C.; Schenk, H.; Frank, A.; Lenzhofer, M.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2006A large deflection translatory actuator for optical path length modulation
Drabe, C.; Klose, T.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.K.
Konferenzbeitrag
2006Ein resonanter Mikroaktuator zur optischen Weglängenmodulation
Drabe, C.
Dissertation
2004Accelerometer by means of a resonant micro actuator
Drabe, C.; Schenk, H.; Roscher, K.-U.; Kunze, D.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Photonic microsystems: An enabling technology for light deflection and modulation
Schenk, H.; Wolter, A.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Grüger, H.; Drabe, C.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag