Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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1999Electrostatically driven micromirrors for a miniaturized confocal laser scanning microscope
Hofmann, U.; Mühlmann, S.; Schütz, R.; Dörschel, K.; Wagner, B.; Witt, M.
Konferenzbeitrag
1999Micromirrors for a miniaturized endoscopic laser scanning microscope
Hofmann, U.; Mühlmann, S.; Dörschel, K.
Zeitschriftenaufsatz