Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Precision laser droplet soldering of components for Multi Shaped Beam Lithography
Burkhardt, T.; Mohaupt, M.; Zaage, B.; Beckert, E.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Döring, H.-J.
Konferenzbeitrag
2012Development of a precision positioning system for electron beam applications
Mohaupt, M.; Harnisch, G.; Heidler, N.; Beckert, E.; Zerfas, P.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Döring, H.-J.; Heine, D.; Klein, M.
Konferenzbeitrag
2012Packaging technology of multi deflection arrays for multi-shaped beam lithography
Burkhardt, T.; Mohaupt, M.; Hornaff, M.; Zaage, B.; Beckert, E.; Döring, H.-J.; Slodowski, M.; Reimer, K.; Witt, M.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2012Precisely assembled multi deflection arrays - key components for multi shaped beam lithography
Mohaupt, Matthias; Beckert, Erik; Burkhardt, Thomas; Hornaff, Marcel; Damm, Christoph; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas; Döring, Hans-Joachim; Reimer, Klaus
Konferenzbeitrag
2012Precision assembly of a miniaturized wire deflector for electron-beam lithography
Risse, Stefan; Damm, Christoph; Hornaff, Marcel; Kamm, Andreas; Mohaupt, Matthias; Eberhardt, Ramona; Schmidt, Ingo; Ramm, Roland; Kühmstedt, Peter; Notni, Gunther; Döring, Hans-Joachim; Elster, Thomas; Kirschstein, Ulf Carsten; Schenk, Christoph
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2011Investigations on clearance seal units for moving elements in an ultra-high vacuum region
Heidler, N.; Mohaupt, M.; Risse, S.; Döring, H.-J.
Konferenzbeitrag
2007Elektrostatisches Ablenksystem fuer Korpuskularstrahlung
Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.; Gebhardt, A.; Rohde, M.; Schenk, C.; Elster, T.; Doering, H.; Schubert, G.
Patent
2006Assembly of an aperture plate system for projection mask-less lithography
Mohaupt, M.; Eberhardt, R.; Damm, C.; Peschel, T.; Tünnermann, A.; Haugeneder, E.; Döring, H.-J.; Brandstätter, C.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Projection mask-less lithography (PML2): First results from the multi beam blanking demonstrator
Eder-Kapl, S.; Haugeneder, E.; Langfischer, H.; Reimer, K.; Eichholz, J.; Witt, M.; Doering, H.-J.; Heinitz, J.; Brandstätter, C.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2005Demonstrators: A vital step forward for projection mask-less lithography (PML2)
Brandstätter, C.; Haugeneder, E.; Döring, H.-J.; Elster, T.; Heinitz, J.; Fortagne, O.; Eder-Kapl, S.; Lammer, G.; Jochl, P.; Löschner, H.; Reimer, K.; Saniter, J.; Talmi, M.; Eberhardt, R.; Krönert, K.
Konferenzbeitrag
2005Development of microsystem technologies for a monolithically integrated programmable aperture plates system used in maskless 45nm e-beam lithography tools
Witt, M.; Eichholz, J.; Ratzmann, L.; Kähler, D.; Brünger, W.; Reimer, K.; Döring, H.-J.; Haugeneder, E.
Konferenzbeitrag
2005Mask manufacture for projection mask-less lithography (PML2)
Reimer, K.; Witt, M.; Kähler, D.; Eichholz, J.; Ratzmann, L.; Brünger, W.; Döring, H.-J.; Haugeneder, E.; Eder-Kapl, S.; Nowak, R.
Konferenzbeitrag
2005Proof-of-concept tool development for projection mask-less lithography (PML2)
Döring, H.-J.; Elster, T.; Heinitz, J.; Fortagne, O.; Brandstätter, C.; Haugeneder, E.; Eder-Kapl, S.; Lammer, G.; Löschner, H.; Reimer, K.; Eichholz, J.; Saniter, J.
Konferenzbeitrag
1996Systemkoordinierte Auswertung und Bewertung des Betriebsverhaltens von Batteriesystemen in bestehenden PV-Anlagen
Bopp, G.; Gabler, H.; Sauer, D.U.; Mittermeier, J.; Höhe, W.; Döring, H.; Köstner, D.; Garche, J.; Willer, B.; Wollny, M.; Bächler, M.; Sprau, P.
Konferenzbeitrag