Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Developing a process to remove single silicon layers by atomic layer etching
Dittmar, N.; Kuechler, M.; Meinecke, C.; Reuter, D.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff
Dittmar, N.; Kuechler, M.; Meinecke, C.; Reuter, D.; Otto, T.
Konferenzbeitrag