Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2016Control of direct bonding behavior by interlayers
Eichler, M.; Dillmann, H.; Nagel, K.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2015Application of polyelectrolyte multilayers for temporary wafer bonding
Dillmann, H.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Abstract
2014Temporary wafer bonding by polyelectrolyte interlayers
Eichler, M.; Dillmann, H.; Reim, L.C.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag