Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2000Wafer conserving full range construction analysis for IC fabrication and process development based on FIB/dual beam inline application
Boit, C.; Dawes, N.; Dziesiaty, A.; Demm, E.; Ebersberger, B.; Frey, L.; Geyer, S.; Hirsch, A.; Lehrer, C.; Meis, P.; Kamolz, M.; Lezec, H.; Rettenmaier, H.; Tittes, W.; Treichler, R.; Weiland, R.; Zimmermann, H.
Konferenzbeitrag
1996Tetramethoxysilane as a precursor for focused ion beam and electron beam assisted insulator (SiO(x)) deposition
Lipp, S.; Frey, L.; Lehrer, C.; Frank, B.; Demm, E.; Pauthner, S.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1995Local material removal by focused ion beam milling and etching
Lipp, S.; Frey, L.; Franz, G.; Demm, E.; Petersen, S.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1995Local material removal by focused ion beam milling and etching
Lipp, K.; Frey, L.; Franz, G.; Demm, E.; Petersen, S.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag