Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Piezoresistive pressure sensor, has substrate with insulation layer, and resistor element arranged in pressure-sensitive area of substrate, where resistor element is defined by portion of semiconductor layer arranged on insulation layer
Vogt, H.; Trieu, H.-K.; Goehlich, A.; Debusmann, K.
Patent
2010Customized mems process development. A pressure sensor for high temperature and high pressure applications
Goehlich, A.; Vogt, H.; Debusmann, K.; Trieu, H.-K.
Aufsatz in Buch
2005200 mm conversion of IMS fab completed
Vogt, H.; Debusmann, K.; Awater, H.; Weyers, S.
Aufsatz in Buch
1994Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Stickstoff/Wasserdampf-Nebels, insbesondere eines nichtkontaminierenden Stickstoff/Wasserdampf-Nebels zum Sichtbarmachen von Stroemungsverlaeufen
Bussing, H.; Debusmann, K.; Kueck, H.; Opiolka, S.
Patent
1990Untersuchung und Entwicklung der CMOS-Technologie auf vergrabenem Isolator als einer neuen VLSI-Technologie. Berichtszeitraum 01.07.1987 - 31.09.1990. BMFT-Abschlußbericht 110620
Abel, H.B.; Gassel, H.; Belz, J.; Burbach, G.; Vogt, H.; Debusmann, K.; Peter-Weidemann, J.; Redlich, S.; Götzen, R.
Buch