Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2001 | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von roehrchenfoermigen mikromechanischen Komponenten, insbesondere Gefaessprothesen
Daaud, S.; Luethje, H.; Hertlein, G. | Patent |
| 2000 | Verfahren und Vorrichtung zum Auftragen von Fotoresistlack auf nicht ebene Grundkoerperoberflaechen
Luethje, H.; Daaud, S.; Boettcher, R. | Patent |
| 1999 | Vorrichtung zur in-situ Messung von mechanischen Spannungen in Schichten
Luethje, H.; Daaud, S. | Patent |
| 1997 | Verfahren zur herstellung von Schichten aus kubischem Bornitrid
Luethje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S. | Patent |
| 1996 | Development of industrial low temperature PVD technique of cubic boron nitride for long lifetime products. Abschlußbericht
Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Schütze, A.; Bewilogua, K.; Schröder, J.; Daaud, S. | Forschungsbericht |
| 1995 | In-situ Messung der optischen Emission des Plasmas und deren Korrelation zu Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetronsputern
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S. | Forschungsbericht |
| 1995 | Preparation of cubic boron nitride films by use of electrically conductive boron carbide targets
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.; Johansson, M.; Hultmann, L. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | Microstructure of BN:C films deposited on Si substrates by reactive magnetron sputtering from a B4C target
Johansson, M.; Daaud, S.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Hultmann, L. | Aufsatz in Buch |
| 1994 | Preparation of cubic boron nitride films by use of electrically conductive boron carbide targets
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.; Johansson, M.; Hultmann, L. | Aufsatz in Buch |