Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018MMS, MMS-Array, MEMS-Aktuator und Verfahren zum Bereitstellen eines MMS
Dürr, Peter; Friedrichs, Martin; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef
Patent
2018Novel 512 × 320 Tip-Tilt Micro Mirror Array in a CMOS-Integrated, Scalable Process Technology
Gehner, A.; Dürr, P.; Kunze, D.; Rudloff, D.; Elgner, A.; Heber, J.; Francés, S.; Skupsch, C.; Torlee, H.; Eckert, M.; Friedrichs, M.; Schmidt, J.; Pufe, W.; Döring, S.; Hohle, C.; Schulze, M.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2017Customized micro mirror array for highly parallel industrial laser direct processing on the micro- and nanoscale
Schmidt, Jan-Uwe; Dürr, Peter; Wagner, Michael
Konferenzbeitrag
2017Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines optischen Musters aus Bildpunkten in einer Bildebene
Dürr, Peter; Mai, Alexander
Patent
2014High-speed one-dimensional spatial light modulator for Laser Direct Imaging and other patterning applications
Schmidt, Jan-Uwe; Dauderstädt, Ulrike; Dürr, Peter; Friedrichs, Martin; Hughes, Thomas; Ludewig, Thomas; Rudloff, Dirk; Schwaten, Tino; Trenkler, Daniela; Wagner, Michael; Wullinger, Ingo; Bergström, Andreas; Björnängen, Peter; Jonsson, Fredrik; Karlin, Tord; Rönnholm, Peter; Sandström, Torbjörn
Konferenzbeitrag
2013Improving manufacturing SMEs' competitiveness through systematic IT efficiency evaluation and advancement
Dürr, P.; Braun, A.; Westkämper, E.; Bauernhansl, T.; Haag, M.; Heilala, J.; Grossmann, F.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2013IT-Effizienz-Check: MES-Potenziale vorab identifizieren
Dürr, Peter
Konferenzbeitrag
2013Modell zur Bewertung der Effizienz der IT-Unterstützung im Auftragsabwicklungsprozess von produzierenden KMU
Dürr, Peter
: Westkämper, Engelbert (Hauptberichter)
Dissertation
2012Durchgängige Bestandssenkungsstrategien im Auftragsabwicklungsprozess
Dürr, Peter
Konferenzbeitrag
2012Improving manufacturing SMEs' competitiveness through systematic IT efficiency evaluation and advancement
Dürr, Peter; Braun, Anja-Tatjana; Westkämper, Engelbert; Bauernhansl, Thomas; Haag, Mikael; Heilala, Juhani; Grossmann, Frank
Konferenzbeitrag
2012Indicator-based method for increasing IT efficiency
Bauernhansl, Thomas; Braun, Anja-Tatjana; Dürr, Peter; Grossmann, Frank
Konferenzbeitrag
2012Transparenz über die IT-Leistungsfähigkeit mit dem "ICT Efficiency Tool"
Dürr, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2011Effizienzmessung von ERP-Systemen
Dürr, Peter; Zwissler, Frank
Zeitschriftenaufsatz
2011IT-Leistungsmessung als Beitrag zur IT-Strategieentwicklung
Dürr, Peter; Braun, Anja-Tatjana; Grossmann, Frank
Zeitschriftenaufsatz
2011Werkzeuge als Planungsressourcen
Zwissler, Frank; Dürr, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2010Temperature measurement on MOEMS micromirror plates under illumination
Wullinger, I.; Rudloff, D.; Lukat, K.; Dürr, P.; Krellmann, M.; Kunze, D.; Narayana Samy, A.; Dauderstädt, U.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2009Advances in SLM development for microlithography
Dauderstädt, U.; Askebjer, P.; Björnängen, P.; Dürr, P.; Friedrichs, M.; List, M.; Rudloff, D.; Schmidt, J.-U.; Müller, M.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2009Kleben von Flächenlichtmodulatoren in Gehäuse
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Ludewig, T.; Wolschke, S.; Wagner, M.; Gesang, T.
Konferenzbeitrag
2009Optimierung der IT-Struktur im Auftragsabwicklungsprozess von kleinen und mittleren Unternehmen
Dürr, Peter; Fröhlich, Tobias
Zeitschriftenaufsatz
2008Charging effects in micromirror spatial light modulators
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Sinning, S.; Wullinger, I.; Wagner, M.
Zeitschriftenaufsatz
2008Planarity optimization of spatial light modulators
Duerr, P.; Wolschke, S.; Ludewig, T.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Wagner, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007ARRANGEMENT OF ELECTRODES WITH RESPECT TO MOVING MICROMECHANICAL ELEMENTS
Wullinger, I.; Duerr, P.
Patent
2007Charging effects in spatial light modulators based on micromirrors
Dauderstädt, U.; Bakke, T.; Dürr, P.; Sinning, S.; Wullinger, I.; Wagner, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Contrast properties of spatial light modulators for microlithography
Heber, J.; Kunze, D.; Dürr, P.; Rudloff, D.; Wagner, M.; Björnängen, P.; Luberek, J.; Berzinsh, U.; Sandström, T.; Karlin, T.
Konferenzbeitrag
2007Hochauflösende Flächenlichtmodulatoren auf Basis von Mikrospiegelmatrizen
Wagner, M.; Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Friedrichs, M.; Schmidt, J.-U.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Methode zur Verbesserung der Planarität von Flächenlichtmodulatoren
Dürr, P.; Kunze, D.
Konferenzbeitrag
2006Micro-actuator with extended analog deflection at low drive voltage
Dürr, P.; Gehner, A.; Schmidt, J.; Kunze, D.; Wagner, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006One megapixel SLM with high optical fill factor and low creep actuators
Friedrichs, M.; Schmidt, J.; Duerr, P.; Bakke, T.
Konferenzbeitrag
2005Mechanical stability of spatial light modulators in microlithography
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Ljungblad, U.; Karlin, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Application of spatial light modulators for microlithography
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Karlin, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Light processing with electrostatically driven micro scanning mirrors and micro mirror arrays
Schenk, H.; Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Gehner, A.; Wolter, A.; Lakner, H.
Aufsatz in Buch
2003Characterization of spatial light modulators for micro lithography
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Auvert, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Characterization of spatial light modulators for microlithography
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Auvert, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Micro mirror arrays for VLSI mask fabrication
Schenk, H.; Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Lakner, H.K.
Aufsatz in Buch
2003Operation of spatial light modulators in DUV light
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Krellmann, M.; Karlin, T.; Berzinsh, U.; Leonardsson, L.; Wendrock, H.
Konferenzbeitrag
2002MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHWINGKOERPER
Schenk, H.; Duerr, P.; Kueck, H.
Patent
2002Mustererzeugung und -erfassung mit mikromechanischen Spiegeln und Spiegelarrays
Lakner, H.; Dürr, P.; Schenk, H.; Gehner, A.
Konferenzbeitrag
2002Reliability test and failure analysis of optical MEMS
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Auvert, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2001Design and fabrication of micromirror arrays for UV-lithography
Lakner, H.; Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Doleschal, W.; Amelung, J.
Konferenzbeitrag
2001New architecture for laser pattern generators for 130 nanometers and beyond
Ljungblad, U.; Sandström, T.; Buhre, H.; Dürr, P.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2001New laser pattern generator for DUV using a spatial light modulator
Ljungblad, U.; Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Sandström, T.; Buhre, H.; Lakner, H.
Zeitschriftenaufsatz
2001A resonantly excited 2D-micro-scanning-mirror with large deflection
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz
2001A Spatial Light Modulator (SLM) for advanced lithography
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Doleschal, W.
Aufsatz in Buch
2000Design and modelling of large deflection micromechanical 1D and 2D scanning mirrors
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
2000An electrostatically excited 2D-Micro-Scanning-Mirror with an in-plane configuration of the driving electrodes
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
2000Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation
Schenk, H.; Dürr, P.; Haase, T.; Kunze, D.; Sobe, U.; Lakner, H.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000Micromirror spatial light modulators
Dürr, P.; Gehner, A.; Dauderstädt, U.A.
Aufsatz in Buch
2000A new 2D micromirror scanner
Schenk, H.; Dürr, P.; Lakner, H.
Aufsatz in Buch
2000Test system for micro mirror arrays
Dürr, P.; Tanneberger, T.; Wolter, A.; Kluge, W.; Doleschal, W.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
1999Antrieb für mikromechanische Scannerspiegel
Schenk, H.; Dürr, P.; Sobe, U.
Zeitschriftenaufsatz
1999Micromirror spatial light modulators
Dürr, P.; Gehner, A.; Dauderstädt, U.A.
Konferenzbeitrag
1999Micromirrors for direct writing systems and scanners
Lakner, H.; Doleschal, W.; Dürr, P.; Gehner, A.; Schenk, H.; Wolter, A.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1999A new driving principle for micromechanical torsional actuators
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1999A novel electrostatically driven torsional actuator
Schenk, H.; Dürr, P.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1998Beschleunigungssensoren
Sölla, F.; Köhler, R.; Dürr, P.; Sobe, U.
Zeitschriftenaufsatz