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| 2009 | Novel test structures for characterization of microsystems parameters at wafer level
Shaporin, A.; Streit, P.; Specht, H.; Mehner, J.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Electrostatic force coupling of MEMS oscillators for spectral vibration measurements
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.E.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Fabrication and characterization of a force coupled sensor-actuator system for adjustable resonant low frequency vibration detection
Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Doetzel, W.; Mehner, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | A MEMS friction vacuum gauge suitable for high temperature environment
Tenholte, D.; Kurth, S.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Technology dependent design and characterization of silicon vibration sensors with linear tunable band selectivity
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Technology dependent design and characterization of silicon vibration sensors with linear tunable band selectivity
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Test-structures for wafer level microsystems characterization
Shaporin, A.; Forke, R.; Schmiedel, R.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Tunable Frequency Selective Vibration Detection with MEMS Force Coupled Oscillators
Forke, R.; Scheibner, D.; Doetzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Acceleration Sensor Arrays
Dienel, M.; Hiller, K.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Adjustable Force Coupled Sensor-Actuator System for Low Frequency Resonant Vibration Detection
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Application of higher order derivatives method to parametric simulation of MEMS
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Gessner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Arrays of Sensors with Variable Stiffness
Shaporin, A.V.; Seifert, M.; Hanf, M.; Hiller, K.; Frühauf, J.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Laser-Display-System auf Basis von MEMS-Scannern
Specht, H.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | MEMS based laser display system
Specht, H.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | MEMS Characterization Technique Based on Special Designed Test-Structures
Shaporin, A.; Forke, R.; Doetzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Performance and reliability test of MEMS optical scanners
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern
Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Test-Structure based MEMS Characterization Technique
Shaporin, A.V.; Hanf M.; Forke, R.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | 24 GHz RF-MEMS phase shifter with non-galvanic electromagnetic coupling fabricated in silicon-bulk technology
Voigt, S.; Leidich, S.; Doetzel, W.; Kurth, S.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Electrostatic force coupling of MEMS oscillators for spectral vibration measurements
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Geßner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | In-process gap reduction of capacitive transducers
Reuter, D.; Bertz, A.; Billep, D.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | MEMS Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
Kurth, S.; Tenholte, D.; Hiller, K.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Patent |
| 2006 | Micromachined force coupled sensor actuator system for frequency selective vibration monitoring
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Geßner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Parametric finite element analysis for reduced order modeling of MEMS
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.E.; Gessner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Parametric simulation of MEMS based on automatic differentiation of finite element codes
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Gessner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Schalteranordnung zur Ansteuerung einer Antennenanordnung mit einzelnen Antennenelementen mit einer Mehrzahl von matrixförmig angeordneten Schaltern und Verfahren zum Schalten von matrixförmig angeordneten Schaltern
Kurth, S.; Frömel, J.; Voigt, S.; Leidich, S.; Nestler, J.; Shaporin, A.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Patent |
| 2006 | A tunable resonant vibration measurement unit based on a micromachined force coupled sensor-actuator system
Mehner, J.; Gessner, T.; Forke, R.; Scheibner, D.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Analyzing and simulation of MEMS in VHDL-AMS based on reduced order FE-models
Schlegel, M.; Bennini, F.; Mehner, J.; Herrmann, G.; Mueller, D.; Dötzel, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Finite element based reduced order modeling for micro electro mechanical systems (MEMS)
Mehner, J.; Kolchuzhin, V.; Schaporin, A.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Geometrically parameterized finite element model of a silicon strain gauge
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | In-process gap reduction of capacitive transducers
Reuter, D.; Bertz, A.; Billep, D.; Scheibner, D.; Buschnakowski, S.; Doetzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Koplanare elektromagnetische Koppler zur Signalkontaktierung von RF-MEMS Bauelementen bei Mikrowellenfrequenzen
Voigt, S.; Leidich, S.; Kurth, S.; Geßner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Mikromechanisches gekoppeltes Schwingsystem für frequenzselektive Vibrationsmessungen
Forke, R.; Mehner, J.; Doetzel, W.; Geßner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Model building, control design and practical implementation of a high precision, high dynamical MEMS acceleration sensor
Wolfram, H.; Schmiedel, R.; Hiller, K.; Aurich, T.; Günther, W.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | A novel 24-kHz resonant scanner for high-resolution laser display
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Novel modeling techniques of MEMS sensors and actuators for electronic and system design in automotive applications
Mehner, J.E.; Shaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Doetzel, W.; Gessner, T. | Abstract, Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Parametric model extraction for MEMS based on variational finite element techniques
Mehner, J.E.; Schaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Doetzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Post-processing gap reduction in a micromachined resonator for vacuum pressure measurement
Billep, D.; Hiller, K.; Frömel, J.; Tenholte, D.; Reuter, D.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Ein resonanter 24 kHz Scanner für hoch auflösende Laserdisplays
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | A spectral vibration detection system based on tunable micromechanical resonators
Scheibner, D.; Mehner, J.; Reuter, D.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Variational finite element technologies for parametric model
Mehner, J.; Schaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Advanced Technologies for Microsystems Design
Mehner, J.; Dötzel, W.; Geßner, T. | Aufsatz in Buch |
| 2004 | Application of micromirror arrays for Hadamard transform optics
Hanf, M.; Kurth, S.; Billep, D.; Hahn, R.; Faust, W.; Heinz, S.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Characterization and self-test of electrostatically tunable resonators for frequency selective vibration measurements
Scheibner, D.; Mehner, J.; Reuter, D.; Kotarsky, U.; Geßner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | A novel microactuator based on the working principle of a step-by-step switchgear
Schröter, B.; Mehner, J.; Hiller, K.; Geßner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Parametric variational finite element method for MEMS electrostatic problems
Shaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Application of low temperature direct bonding in optical devices and integrated systems
Hiller, K.; Kurth, S.; Neumann, N.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Hanf, M.; Heinz, S.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Ebest, G. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Closed loop control of a tunable infrared filter
Sternberger, A.; Hiller, K.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Kurth, S.; Neumann, N.; Heinze, M. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | An electrically tunable infrared filter on base of Fabry-Perot interferometer
Kurth, S.; Hiller, K.; Neumann, N.; Heinze, M.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Reduced order of fluid structural interactions in MEMS based on modal projection techniques
Mehner, J.; Dötzel, W.; Schauwecker, B.; Ostergard, D. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Tunable Fabry-Perot interferometer for 3 - 4.5 mu m wavelength with bulk micromachined reflector carrier
Kurth, S.; Hiller, K.; Neumann, N.; Heinze, M.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Tunable infrared filter based on a Fabry-Perot-Interferometer
Kurth, S.,; Hiller, K.; Dötzel, W.; Geßner, T.; Neumann, N.; Heinze, M. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Abstimmbare Siliziumsensoren zur Vibrationsanalyse mit elektromagnetischer Selbsttest-Funktionalität
Scheibner, D.; Mehner, J.; Brämer, B.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Bulk micromachined and wafer bonded resonators for vacuum pressure measurement
Hiller, K.; Kurth, S.; Zichner, N.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Iwert, T.; Fritsch, H.; Biehl, S. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Einsatz von Mikrospiegel-Arrays zur Lichtmodulation in einem Hadamard-Transformations-Spektrometer
Hanf, M.; Kurth, S.; Faust, W.; Hahn, R.; Heinz, S.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Micromachined pressure gauge for the vacuum range based on damping of a resonator
Kurth, S.; Hiller, K.; Zichner, N.; Mehner, J.; Iwert, T.; Biehl, S.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Ein mikromechanischer Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
Hiller, K.; Kurth, S.; Zichner, N.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Iwert, T.; Fritsch, H.; Biehl, S. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Deformation behavior of micro mirror arrays under optical power
Kurth, S.; Kehr, K.; Kaufmann, C.; Faust, W.; Dötzel, W.; Michel, B. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Micromirrors and micromirror arrays for scanning applications
Gessner, T.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Markert, J.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | A resonance method for the determination of Young's modulus and residual stress of thin microstructures
Mehner, J.; Kehr, K.; Schröter, B.; Kaufmann, C.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Abstimmbare resonante Sensorarrays in oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik
Wibbeler, J.; Steiniger, C.; Wolf, K.; Symanzik, H.; Dötzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Analogously working micromirror arrays
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Anwendung von Niedertemperatur-Bondverfahren für die Herstellung von Microscanner-Arrays hoher Frequenz
Wiemer, M.; Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Fabrication of high frequency microscanners by using low temperature silicon wafer bonding
Hiller, K.; Wiemer, M.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Milekhin, A.; Friedrich, M.; Zahn, D. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Investigation of heat transfer in micromirrors
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Low-temperature approaches for fabrication of high-frequency microscanners
Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Wiemer, M.; Schubert, I. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Synchronously working micromirrors for beam steering
Kurth, S.; Kehr, K.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Seidel, R.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |