Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021Balanced electrostatic all-silicon MEMS speakers
Schenk, H.A.G.; Ehrig, L.; Wall, F.; Kaiser, B.; Stolz, M.; Langa, S.; Schuffenhauer, D.; Monsalve Guaracao, J.M.; Melnikov, A.; Conrad, H.
Konferenzbeitrag
2021Large-Signal Equivalent-Circuit Model of Asymmetric Electrostatic Transducers
Monsalve, J.M.; Melnikov, A.; Kaiser, B.; Schuffenhauer, D.; Stolz, M.; Ehrig, L.; Schenk, H.A.G.; Conrad, H.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2021MEMS component, assembly comprising the MEMS component and method for operating the MEMS component
Kaiser, Bert; Monsalve Guaracao, Jorge Mario; Conrad, Holger
Patent
2021MEMS mit hohem Aspektverhältnis
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert
Patent
2021Mikroelektromechanischer Antrieb zum Bewegen von Objekten
Shashank, Shashank; Narimani, Keyvan; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Conrad, Holger
Patent
2020Minimization of nonlinearities in nano electrostatic drive actuators using validated coupled-field simulation
Melnikov, Anton; Schenk, Hermann; Wall, Franziska; Spitz, B.; Ehrig, L.; Langa, S.; Stolz, M.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2020Silicon-based microfluid control and switching valves using lateral electrostatic bending actuators
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Ruffert, Christine; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Bericht
2019Acoustic Validation of Electrostatic All-Silicon MEMS-Speakers
Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann A.G.; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Männchen, Andreas; Brocks, Tobias
Konferenzbeitrag
2019Audio-transducer for in-ear-applications based on CMOS-compatible electrostatic actuators
Spitz, B.; Wall, F.; Schenk, H.A.G.; Melnikov, A.; Ehrig, L.; Langa, S.; Stolz, M.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2019Audio-Transducer für In-Ear Anwendungen auf der Basis CMOS-kompatibler, elektrostatischer Biegeaktoren
Spitz, Barbara; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Melnikov, Anton; Ehrig, Lutz; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2019Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers
Kaisers, B.; Langa, S.; Ehrig, L.; Stolz, M.; Schenk, H.; Conrad, H.; Schenk, H.; Schimmanz, K.; Schuftenhauer, D.
Zeitschriftenaufsatz
2019Electrostatic All-Silicon MEMS Speakers for In-Ear Audio Applications - Acoustic Measurements and Modelling Approach
Ehrig, Lutz; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Langa, Sergiu; Melnikov, Anton; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2019Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen
Stolz, Michael; Mrosk, A.; Kaiser, B.; Langa, S.; Ehrig, L.; Conrad, H.; Gaudet, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2018Clamped-clamped in-plane electrostatic bending actuators in silicon-based microfluidic devices
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Vortrag
2018CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen
Conrad, Holger; Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann; Schuffenhauer, David; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2018Electrostatically Driven In-Plane Silicon Micropump for Modular Configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
Conrad, Holger; Schenk, Harald
Patent
2018Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald; Uhlig, Sebastian
Patent
2018Smart and efficient optimization of NED actuators
Schuffenhauer, David; Gaudet, Matthieu; Conrad, Holger
Konferenzbeitrag
2017CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017A contribution to the expansion of the applicability of electrostatic forces in micro transducers
Schenk, H.; Conrad, H.; Gaudet, M.; Uhlig, S.; Kaiser, B.; Langa, S.; Stolz, M.; Schimmanz, K.
Konferenzbeitrag
2017Electrostactically in-plane driven silicon micropump for modular configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Stolz, Michael; Arscott, Steve; Conrad, Holger; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017A novel electrostatic actuator technology for integrated RF MEMS and optical switches
Shashank; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Poster
2017Technological aspects of a new micro‑electro‑mechanical actuation principle: Nano‑e‑drive
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2016Influence of annealing in H atmosphere on the electrical properties of Al2O3 layers grown on p-type Si by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, V.; Stübner, R.; Langa, S.; Wende, U.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2016MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Langa, Sergiu
Patent
2016A novel electrostatic actuator class
Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2016A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schimmanz, Klaus
Konferenzbeitrag
2015About stress in filled DRIE-trenches
Kaiser, Bert; Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Grahmann, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2015Characterisation of environmental influences on a new class of nano-actuators
Gerntrup, Marie-Louise
: Conrad, Holger (Betreuer)
Bachelor Thesis
2015A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections
Conrad, Holger; Schenk, Harald; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Lenz, Miriam
Zeitschriftenaufsatz
2011Aluminum nitride thin film development using statistical methods
Conrad, H.; Pufe, W.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2011Integrated piezoresistive position detection for electrostatic driven micro scanning mirrors
Grahmann, J.; Graßhoff, T.; Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2011Mikromechanisches Element
Conrad, H.; Jung, D.
Patent
2010Mikromechanisches Element
Conrad, H.; Jung, D.
Patent
2010Piezoelektrisch auslenkbarer Mikrospiegel für die aktive Fokusvariation
Conrad, H.
Aufsatz in Buch
2009Eine 'Reinkarnation' in der Strukturmechanik
Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Zeitschriftenaufsatz
2009Aluminium nitride: A promising and full CMOS compatible piezoelectric material for MOEMS applications
Conrad, H.; Schmidt, J.U.; Pufe, W.; Zimmer, F.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2009Fabrication of 3D comb drive microscanners by mechanically induced permanent displacement
Jung, D.; Kallweit, D.; Sandner, T.; Conrad, H.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2009Integrated position sensing for 2D microscanning mirrors using the SOI-device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer
Grahmann, J.; Conrad, H.; Sandner, T.; Klose, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2009Reduzierung der dynamischen Deformation von Translationsspiegeln mit Hilfe von traegen Massen
Grasshoff, T.; Sandner, T.; Conrad, H.; Jung, D.
Patent
2009Single crystal silicon micro mirrors
Schenk, H.; Sandner, T.; Drabe, C.; Klose, T.; Conrad, H.
Zeitschriftenaufsatz
2008Actuating methods of quasistatic micromirrors for active focus variation
Conrad, H.; Klose, T.; Sander, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008Fluidmechanical damping analysis of resonant micromirrors with out-of-plane comb drive
Klose, T.; Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2008Mikromechanisches Element und Sensor zur Ueberwachung eines mikromechanischen Elements
Klose, T.; Conrad, H.; Grasshoff, T.
Patent
2008Modelling the thermally induced curvature of multilayer coatings with COMSOL multiphysics
Conrad, H.; Klose, T.; Sandner, T.; Jung, D.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Auslenkbares mikromechanisches System sowie dessen Verwendung
Klose, T.; Sander, T.; Conrad, H.
Patent
2007Integrated piezo-resistive positionssensor for microscanning mirrors
Sandner, T.; Conrad, H.; Klose, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2007Konzeptionelle Untersuchungen eines elektrothermisch auslenkbaren mikromechanischen Membranspiegels zur aktiven Fokusvariation
Conrad, H.
: Wächter, F.; Sandner, T.
Master Thesis
2005Positionsbestimmung von Microscannerspiegeln mit integrierten piezoresistiven Sensoren
Conrad, H.
Diplomarbeit
1999Effektivität und Effizienz technischer Normen und Standards für kommunale Umweltschutzaufgaben am Beispiel der kommunalen Abwasserentsorgung. Abschlußbericht
Böhm, E.; Hiessl, H.; Hillenbrand, T.; Walz, R.; Conrad, H.; Kühn, V.; Lützner, K.; Rengeling, K.-W.
Studie
1998Effektivität und Effizienz technischer Normen und Standards für kommunale Umweltschutzaufgaben am Beispiel der kommunalen Abwasserentsorgung
Böhm, Eberhard; Hiessl, Harald; Hillenbrand, Thomas; Walz, Rainer; Conrad, Holger; Kühn, Volker; Lützner, Klaus; Rengeling, Klaus-Werner
Bericht
1998Effektivität und Effizienz technischer Normen und Standards für kommunale Umweltschutzaufgaben am Beispiel der kommunalen Abwasserentsorgung. Kurzfassung
Böhm, Eberhard; Hiessl, Harald; Hillenbrand, Thomas; Walz, Rainer; Conrad, H.; Kühn, V.; Lützner, K.; Rengeling, W.
Bericht