Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Measurement of ellipsometric data and surface orientations by modulated circular polarized light
Chen, Chia-Wei; Hartrumpf, Matthias; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019An Overview of Return-Path Ellipsometry
Chen, Chia-Wei
Konferenzbeitrag