Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Quality control of bond strength in low-temperature bonded wafers
Siegert, J.; Cassidy, C.; Schrank, F.; Gerbach, R.; Naumann, F.; Petzold, M.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
20113D Sensor application with open through silicon via technology
Kraft, J.; Schrank, F.; Teva, J.; Siegert, J.; Koppitsch, G.; Cassidy, C.; Wachmann, E.; Altmann, F.; Brand, S.; Schmidt, C.; Petzold, M.
Konferenzbeitrag
2010Characterization and failure analysis of 3D integrated semiconductor devices-novel tools for fault isolation, target preparation and high resolution material analysis
Altmann, F.; Petzold, M.; Schmidt, C.; Salzer, R.; Cassidy, C.; Tesch, P.; Smith, N.
Konferenzbeitrag