Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009INKtelligent printing of scale comprehensive electrical connections for thermal flow sensors
Sosna, C.; Sturm, H.; Buchner, R.; Werner, C.; Godlinski, D.; Zöllmer, V.; Busse, M.; Lang, W.
Konferenzbeitrag
2009New electrical connection technology for microsystems using inktelligent printing® and functional nanoscaled INKS
Sturm, H.; Sosna, C.; Buchner, R.; Werner, C.; Godlinski, D.; Zollmer, V.; Busse, M.; Lang, W.
Konferenzbeitrag
2006Dielectric properties of oilwater complexes using terahertz transmission spectroscopy
Gorenflo, S.; Tauer, U.; Hinkov, I.; Lambrecht, A.; Buchner, R.; Helm, H.
Zeitschriftenaufsatz
2006Verdrahtungsverfahren fuer Halbleiter-Bauelemente zur Verhinderung von Produktpiraterie und Produktmanipulation, durch das Verfahren hergestelltes Halbleiter-Bauelement und Verwendung des Halbleiter-Bauelements in einer Chipkarte
Ramm, P.; Buchner, R.
Patent
2003Entwicklung und Charakterisierung eines HF-Gasphasen-Ätzprozesses
Buchner, R.
Diplomarbeit
2002Verfahren zur Herstellung eines Arrays von Photodetektoren
Buchner, R.; Sax, M.
Patent
2002VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DREIDIMENSIONALEN SCHALTUNGEN
Buchner, R.; Ramm, P.
Patent
2002Verfahren zur Herstellung von Photodetektoren
Buchner, R.; Sax, M.
Patent
2001Verfahren zur Herstellung einer dreidimensionalen integrierten Schaltung
Ramm, P.; Buchner, R.
Patent
2001Verfahren zur Herstellung von monolithisch integrierten Sensoren
Buchner, R.; Meyer, M.
Patent
2000Duennfilmphotodiode und Verfahren zur Herstellung
Buchner, R.; Sax, M.
Patent
2000Verfahren zur Herstellung von Photodetektoren
Buchner, R.; Sax, M.
Patent
1999Verfahren zur Herstellung einer dreidimensionalen integrierten Schaltung unter Erreichung hoher Systemausbeuten
Ramm, P.; Buchner, R.
Patent
1999Verfahren zur Herstellung einer vertikalen integrierten Schaltungsstruktur
Ramm, P.; Buchner, R.
Patent
1998Interchip via technology-three dimensional metallization for vertically integrated circuits
Bertagnolli, E.; Bollmann, D.; Braun, R.; Buchner, R.; Engelhardt, M.; Grassl, T.; Hieber, K.; Kawala, G.; Kleiner, M.; Klumpp, A.; Kuhn, S.; Landesberger, C.; Pamler, W.; Popp, R.; Ramm, P.; Renner, E.; Ruhl, G.; Scheler, U.; Schmidt, C.; Schwarzl, S.; Weber, J.; Sänger, A.
Konferenzbeitrag
1997Three dimensional metallization for vertically integrated circuits
Ramm, P.; Bollmann, D.; Braun, R.; Buchner, R.; Cao-Minh, U.; Engelhardt, M.; Errmann, G.; Grassl, T.; Hieber, K.; Hübner, H.; Kawala, G.; Kleiner, M.; Klumpp, A.; Kuhn, S.; Landesberger, C.; Lezec, H.; Muth, W.; Pamler, W.; Popp, R.; Renner, E.; Ruhl, G.; Scheler, U.; Schertel, A.; Schmidt, C.; Schwarzl, S.; Weber, J.; Weber, W.; Sänger, A.
Konferenzbeitrag
1997Three dimensional metallization for vertically integrated circuits
Bollmann, D.; Braun, R.; Buchner, R.; Cao-Minh, U.; Engelhardt, M.; Errmann, G.; Grassl, T.; Hieber, K.; Hübner, H.; Kawala, G.; Kleiner, M.; Klumpp, A.; Kuhn, S.; Landesberger, C.; Lezec, H.; Muth, W.; Pamler, W.; Popp, R.; Renner, E.; Ruhl, G.; Scheler, U.; Schmidt, C.; Schwarzl, S.; Weber, J.; Weber, W.; Ramm, P.; Sänger, A.
Konferenzbeitrag
1997Verfahren zum Ausrichten von in einem Substrat zu erzeugenden Strukturen
Buchner, R.; Neumeier, K.
Patent
1995Schmieroelueberwachungseinrichtung
Haberger, K.; Buchner, R.
Patent
1994VERFAHREN ZUM DUENNAETZEN VON SUBSTRATEN
Haberger, K.; Buchner, R.; Bollmann, D.
Patent
1994Vorrichtung zur Waermebehandlung der Oberflaeche eines Substrates, insbesondere zum Kristallisieren von polykristallinem oder amorphem Substratmaterial
Haberger, K.; Buchner, R.
Patent
1993Verfahren zum Herstellen einer Magnetfelderfassungsvorrichtung und danach hergestellte Magnetfelderfassungsvorrichtung
Haberger, K.; Buchner, R.
Patent
1992Process simulation for laser recrystallization
Hu, B.; Neumayer, G.; Buchner, R.; Haberger, K.; Seidl, A.
Konferenzbeitrag
1992Shallow doping profiles produced with pulsed lasers
Bollmann, D.; Buchner, R.; Haberger, K.; Neumayer, G.
Konferenzbeitrag
1992Shallow p-n junctions produced by laser doping with boron silicate glass
Bollmann, D.; Buchner, R.; Haberger, K.; Neumayer, G.
Konferenzbeitrag
1991Avoidance of substrate damage upon laser recrystallization of a SOI layer
Wel, W. van der; Seitz, S.; Weber, J.; Buchner, R.; Haberger, K.; Seegebrecht, P.
Zeitschriftenaufsatz
1991Correlation of the D-band photoluminescence with spatial properties of dislocations in silicon
Weronek, K.; Weber, J.; Höpner, A.; Ernst, F.; Stefaniak, M.; Alexander, H.; Buchner, R.
Konferenzbeitrag
1991Numerische Simulation zur Optimierung der Prozeßparameter bei Laserkristallisation
Hu, B.; Seidl, A.; Neumayer, G.; Buchner, R.; Haberger, K.
Tagungsband
1991Origin of the D-band photoluminescence in silicon
Weronek, K.; Weber, J.; Buchner, R.
Konferenzbeitrag
1991Rekombination an Versetzungen in Silizium und Germanium
Weronek, K.; Weber, J.; Alexander, H.; Buchner, R.
Tagungsband
1991Suppression of grain boundary formation during laser recrystallization of thin Si-films using micro absorbers
Hu, B.; Wel, W. van der; Buchner, R.; Haberger, K.; Seidl, A.
Konferenzbeitrag
19903D CMOS devices in recrystallized silicon
Seitz, S.; Weber, J.; Seegebrecht, P.; Wel, W. van der; Buchner, R.; Haberger, K.
Zeitschriftenaufsatz
1990Dreidimensionale Halbleiter-Bauelemente in Silizium
Buchner, R.; Haberger, K.
Zeitschriftenaufsatz
1990Dreidimensionale integrierte Schaltung und Verfahren zu deren Herstellung
Buchner, R.; Haberger, K.
Patent
1990Investigation of laser recrystallization of thin Si films using numerical simulation
Hu, B.; Wel, W. van der; Buchner, R.; Haberger, K.; Seidl, A.
Zeitschriftenaufsatz
1990Investigation of laser recrystallization of thin Si-films using numeric simulation
Hu, B.; Buchner, R.; Bollmann, D.; Wei, W. van de; Haberger, K.; Seidl, A.
Konferenzbeitrag
1990Ultra flat P-N junctions formed by solid source laser doping
Stock, G.; Bollmann, D.; Buchner, R.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Konferenzbeitrag
1990Ultra flat P-N junctions formed by solid source laser doping
Stock, G.; Bollmann, D.; Buchner, R.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Konferenzbeitrag
1990Verfahren zum Herstellen von dreidimensionalen mehrschichtigen integrierten Schaltungen mittels einer Keimziehmethode
Buchner, R.; Haberger, K.
Patent
19893D - CMOS devices in recrystallized silicon
Buchner, R.; Haberger, K.; Seitz, D.; Weber, J.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989An advanced fabrication process for 3D-CMOS devices
Buchner, R.; Haberger, K.; Seitz, S.; Weber, J.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Avoidance of substrate damage upon laser recrystallization of an SOI layer
Buchner, R.; Haberger, K.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Description of grain boundary formation in laser recrystallized Si films
Buchner, R.; Haberger, K.; Hu, B.
Konferenzbeitrag
1989Laser recrystallization for three-dimensional integration
Buchner, R.; Haberger, K.; Seitz, S.; Weber, J.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Laser recrystallization of polysilicon for improved device quality
Buchner, R.; Haberger, K.; Hu, B.
Aufsatz in Buch
1989Optically matched capping layers for CO2 laser recrystallization of polysilicon
Buchner, R.; Haberger, K.; Rose, E.; Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1989Process technology for 3D-CMOS devices
Buchner, R.; Haberger, K.; Seitz, S.; Weber, J.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Simulation of grain boundary formation in laser recrystallized Si films
Buchner, R.; Haberger, K.; Hu, B.
Konferenzbeitrag
1989Substrate damage free laser recrystallization of polysilicon
Buchner, R.; Haberger, K.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Substrate-damage-free laser recrystallization of polycrystalline silicon
Buchner, R.; Haberger, K.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Zeitschriftenaufsatz
1988Effects of different recrystallization processes on the electrical characteristics of underlying MOS devices
Buchner, R.; Panish, P.; Haberger, K.; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1988Fast CO2 laser recrystallization for 3D integration
Haberger, K.; Panish, P.; Buchner, R.; Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1988Laser recrystallization of polysilicon for improved device quality
Buchner, R.; Haberger, K.; Hu, B.
Konferenzbeitrag
1988Modeling of grain boundary in laser recrystallization
Hu, B.; Buchner, R.; Haberger, K.
Konferenzbeitrag
1988STACHMOS - a basic 3-dimensional CMOS process
Haberger, K.; Panish, P.; Buchner, R.; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1987High troughput CO2 laser recrystallization for 3D integrated devices
Haberger, K.; Panish, P.; Buchner, R.; Steinberger, H.
Konferenzbeitrag