Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009Determination of cross-link density in ion-irradiated polystyrene surfaces from rippling
Karade, Y.; Pihan, S.A.; Brünger, W.H.; Dietzel, A.; Berger, R.; Graf, K.
Zeitschriftenaufsatz
2007Ion projection surface structuring with noble gas ions at 75 keV
Bruenger, W.H.; Dietzel, A.H.; Loeschner, H.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Oriented nanometer surface morphologies by thermal relaxation of locally cross-linked and stretched polymer samples
Karade, Y.; Graf, K.; Brünger, W.H.; Dietzel, A.; Berger, R.
Zeitschriftenaufsatz
2006Verfahren zum Herstellen einer Nanostruktur auf einem Substrat
Bruenger, W.H.; Fink, D.
Patent
2003Fabrication and electrical characteristics of carbon nanotube-based microcathodes for use in a parallel electron-beam lithography system
Brünger, W.H.; Eichholz, J.; Hanssen, H.; Friedrich, D.
Zeitschriftenaufsatz
2003Ion projection direct-structuring for nanotechnology applications
Loeschner, H.; Fantner, E.J.; Korntner, R.; Platzgummer, E.; Stengl, G.; Zeininger, M.; Baglin, J.E.E.; Berger, R.; Brünger, W.H.; Dietzel, A.; Baraton, M.-I.; Merhari, L.
Konferenzbeitrag
2003Large-field particle beam optics for projection and proximity printing and for maskless lithography
Löschner, H.; Stengl, G.; Buschbeck, H.; Chalupka, A.; Lammer, G.; Platzgummer, E.; Vonach, H.; Jager, P.W.H. de; Käsmaier, R.; Ehrmann, A.; Hirscher, S.; Wolter, A.; Dietzel, A.; Berger, R.; Grimm, H.; Terris, B.D.; Brünger, W.H.; Gross, G.; Fortagne, O.; Adam, D.; Böhm, M.; Eichhorn, H.; Springer, R.; Butschke, J.; Letzkus, F.; Ruchhöft, P.; Wolfe, J.C.
Zeitschriftenaufsatz
2003Nanopatterning of magnetic disks by single-step ar+ ion projection
Dietzel, A.; Berger, R.; Loeschner, H.; Platzgummer, E.; Stengl, G.; Bruenger, W.H.; Letzkus, F.
Zeitschriftenaufsatz
2003Resistless deposition of metallic nanostructures on ion projection sensitized p-Si
Spiegel, A.; Brünger, W.H.; Dzionk, C.; Schmuki, P.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2002Evaluation of ion projection using heavy ions suitable for resistless patterning of thin magnetic films
Brünger, W.H.; Dzionk, C.; Berger, R.; Grimm, H.; Dietzel, A.; Letzkus, F.; Springer, R.
Zeitschriftenaufsatz
2002Ion projection direct structuring for patterning of magnetic media
Dietzel, A.; Berger, R.; Grimm, H.; Brünger, W.H.; Dzionk, C.; Letzkus, F.; Springer, R.; Löschner, H.; Platzgummer, E.; Stengl, G.; Bandic, Z.Z.; Terris, B.D.
Zeitschriftenaufsatz
2002Ion projection printing for patterning of magnetic media
Dietzel, A.; Berger, R.; Grimm, H.; Bruenger, W.H.; Dzionk, C.; Letzkus, F.; Springer, R.; Loeschner, H.; Platzgummer, E.; Terris, B.D.
Konferenzbeitrag
2002Ion projection sensitized selective Cu electroplating on uncoated p-Si
Spiegel, A.; Brünger, W.H.; Dzionk, C.; Schmuki, P.
Zeitschriftenaufsatz
2002Large-field ion-optics for projection and proximity printing and for mask-less lithography (ML2)
Löschner, H.; Stengl, G.; Buschbeck, H.; Chalupka, A.; Lammer, G.; Platzgummer, E.; Vonach, H.; Jager, P.W.H. de; Käsmaier, R.; Ehrmann, A.; Hirscher, S.; Wolter, A.; Dietzel, A.; Berger, R.; Grimm, H.; Terris, B.D.; Brünger, W.H.; Adam, D.; Böhm, M.; Eichhorn, H.; Springer, R.; Butschke, J.; Letzkus, F.; Ruchhöft, P.; Wolfe, J.C.
Konferenzbeitrag
2002Nanocomposite resist systems for next-generation lithography
Merhari, L.; Gonsalves, K.E.; Hu, Y.; He, W.; Huang, W.S.; Angelopoulos, M.; Bruenger, W.H.; Dzionk, C.; Torkler, M.
Zeitschriftenaufsatz
2002Resistless patterning of magnetic storage media using ion projection structuring
Dietzel, A.; Berger, R.; Grimm, H.; Schug, C.; Brünger, W.H.; Dzionk, C.; Letzkus, F.; Springer, R.; Löschner, H.; Platzgummer, E.; Stengl, G.; Anders, S.; Bandic, Z.Z.; Rettner, C.T.; Terris, B.D.; Eichhorn, H.; Böhm, M.; Adam, D.
Konferenzbeitrag
2001Carbon films for use as the electron source in a parallel e-Beam lithography system (NDFCT 353)
Milne, W.I.; Teo, K.B.K.; Chhowalla, M.; Amaratunga, G.A.; Yuan, J.; Robertson, J.; Legagneux, P.; Pirio, G.; Pribat, D.; Bouzehouane, K.; Brünger, W.H.; Trautmann, C.
Zeitschriftenaufsatz
1999Measuring acid generation efficiency in chemically amplified resists with all three beams
Szmanda, C.S.; Brainard, R.L.; Mackevich, J.F.; Awaji, A.; Tanaka, T.; Yamada, Y.; Bohland, J.; Tedesco, S.; Dal'Zotto, B.; Brünger, W.H.; Torkler, M.; Fallmann, W.; Löschner, H.; Käsmaier, R.; Nealey, P.M.; Pawloski, A.R.
Konferenzbeitrag
1999Minimum ion-beam exposure-dose determination for chemically amplified resist from printed dot matrices
Brünger, W.H.; Torkler, M.; Weiss, M.; Löschner, H.; Leung, K.; Lee, Y.; Hudek, P.; Rangelow, J.W.; Stangl, G.; Fallmann, W.
Konferenzbeitrag
1999Resolution improvement of ion projector with a low energy spread multicusp ion source
Brünger, W.H.; Torkler, M.; Leung, K.N.; Lee, Y.; Williams, M.D.; Löschner, H.; Stengl, G.; Fallmann, W.; Paschke, F.; Stangl, G.; Rangelow, J.W.; Hudek, P.
Konferenzbeitrag
1998Plasma source for ion and electron beam lithography
Lee, Y.; Leung, K.N.; Fallmann, W.; Torkler, M.; Bruenger, W.H.
Zeitschriftenaufsatz
1997Chemically amplified deep ultraviolet resist for positive tone ion exposure
Brünger, W.H.; Torkler, M.; Buchmann, L.-M.; Finkelstein, W.
Konferenzbeitrag
1997Contamination reduction in low voltage e-beam microscopy for dimensional metrology
Brünger, W.H.; Kleinschmidt, H.; Hassler-Grohne, W.; Bosse, H.
Konferenzbeitrag
1997DUV resist UV II HS applied to high resolution e-beam lithography and to masked ion beam proximity and reduction printing
Brünger, W.H.; Buschbeck, H.; Cekan, E.; Eder, S.; Fedynyshyn, T.H.; Hertlein, W.G.; Hudek, P.; Kostic, I.; Loeschner, H.; Rangelow, J.W.; Torkler, M.
Konferenzbeitrag
1995Conductivity and reproducibility of e-beam induced deposited tungsten lines
Kohlmann van Platen, K.T.; Schmidt, L.; Brünger, W.H.
Konferenzbeitrag
1995Damage characterization of ion beam exposed metal-oxide-semiconductor varactor cells by charge to breakdown measurements
Brünger, W.H.; Buchmann, L.-M.; Naumann, F.; Friedrich, D.; Finkelstein, W.; Mohondro, R.
Konferenzbeitrag
1994Direct write pattern placement accuracy for E-beam nanolithography
Reimer, K.; Ehrlich, C.; Köhler, C.; Brünger, W.H.
Konferenzbeitrag
1993Application of e-beam nanolithography for absorber structuring of high resolution x-ray masks
Köhler, C.; Brünger, W.H.; Ehrlich, C.; Huber, H.-L.; Reimer, K.
Zeitschriftenaufsatz
1993Edge roughness of a 200 nm pitch resist pattern fabricated by ion projection lithography
Brünger, W.H.; Blaschke, J.; Torkler, M.; Buchmann, L.-M.
Zeitschriftenaufsatz
1992E-beam induced fabrication of microstructures
Kohlmann, K.T.; Brünger, W.H.
Konferenzbeitrag
1992Fabrication of 3.5 GHz surface acoustic wave filters by ion projection lithography
Kreutzer, M.; Zwicker, G.; Fleischmann, B.; Brünger, W.H.; Buchmann, L.-M.; Torkler, M.
Konferenzbeitrag
1992Repair of open stencil masks for ion projection lithography by E-beam induced metal deposition
Kohlmann, K.T.; Brünger, W.H.; Buchmann, L.-M.
Konferenzbeitrag
1992Stability and electronic adjustment of ion images projected at 10 x reduction
Brünger, W.H.; Buchmann, L.-M.; Torkler, M.
Zeitschriftenaufsatz
1991E-beam induced x-ray mask repair with optimized gas nozzle geometry
Thiemann, M.; Brünger, W.H.; Kohlmann, K.T.
Konferenzbeitrag
1989Spatial resolution tests of scanning auger microscopy under different topographical conditions
Umbach, A.; Hoyer, A.; Brünger, W.H.
Zeitschriftenaufsatz
1989X-ray mask repair by electron beam induced metal deposition
Brünger, W.H.
Konferenzbeitrag
1988Small spot ESCA and scanning XPS investigations compared to scanning auger microanalysis.
Brünger, W.H.
Zeitschriftenaufsatz
1986Influence of thin film thickness variations on pattern fidelity of x-ray masks
Betz, H.; Heuberger, A.; Hersener, J.; Bruenger, W.H.
Konferenzbeitrag
1984E-beam metrology of chromium master masks and masks for x-ray lithography
Betz, H.; Heuberger, A.; Bruenger, W.H.; Mueller, K.P.
Zeitschriftenaufsatz
1983E-beam two-coordinate measuring tool for high precision metrology in micro-lithographie
Betz, H.; Heuberger, A.; Somers, J.M.; Bruenger, W.H.
Konferenzbeitrag