Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Micro- and nano-electromechanical resonators based on SiC and group III-nitrides for sensor applications
Brueckner, K.; Niebelschütz, F.; Tonisch, K.; Foerster, C.; Cimalla, V.; Stephan, R.; Pezoldt, J.; Stauden, T.; Ambacher, O.; Hein, M.A.
Zeitschriftenaufsatz
2010AlGaN/GaN based heterostructures for MEMS and NEMS applications
Cimalla, V.; Röhlig, C.-C.; Lebedev, V.; Ambacher, O.; Tonisch, K.; Niebelschütz, F.; Brueckner, K.; Hein, M.A.
Konferenzbeitrag
2010Piezoelectric actuated epitaxially grown AlGaN/GaN-resonators
Niebelschütz, F.; Brueckner, K.; Tonisch, K.; Stephan, R.; Cimalla, V.; Ambacher, O.; Hein, M.A.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Femtosecond laser ablation and scanning microscopy of the internal retinal limiting membrane
Toropygin, S.G.; Krause, M.; Reimann, I.; Hille, K.; Mestres, P.; Ruprecht, K.W.; Seitz, B.; Brückner, K.; Jonescu-Cuypers, C.; König, K.
Zeitschriftenaufsatz
2009Performance modification of SiC MEMS
Niebelschütz, F.; Brueckner, K.; Cimalla, V.; Hein, M.A.; Pezoldt, J.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2009Resonant piezoelectric ALGAN/GAN mems sensors in longitudinal mode operation
Brueckner, K.; Niebelschütz, F.; Tonisch, K.; Stephan, R.; Cimalla, V.; Ambacher, O.; Hein, M.A.
Konferenzbeitrag
2009Wide band gap based MEMS for harsh environment applications
Cimalla, V.; Lebedev, V.; Röhlig, C.-C.; Ambacher, O.; Niebelschütz, F.; Tonisch, K.; Pezoldt, J.; Brueckner, K.; Hein, M.
Konferenzbeitrag
2008Femtosecond laser-assisted retinal imaging and ablation
Hild, M.; Krause, M.; Riemann, I.; Mestres, P.; Toropygin, S.; Löw, U.; Brückner, K.; Seitz, B.; Jonescu-Cuypers, C.; König, K.
Zeitschriftenaufsatz
2008Isotropic dry-etching of SiC for AlGaN/GaN MEMS fabrication
Niebelschütz, F.; Pezoldt, J.; Stauden, T.; Cimalla, V.; Tonisch, K.; Brueckner, K.; Hein, M.; Ambacher, O.; Schober, A.
Konferenzbeitrag
2008Two-dimensional electron gas based actuation of piezoelectric AlGaN/GaN microelectromechanical resonators
Brueckner, K.; Niebelschütz, F.; Tonisch, K.; Michael, S.; Dadgar, A.; Krost, A.; Cimalla, V.; Ambacher, O.; Stephan, R.; Hein, M.A.
Zeitschriftenaufsatz