Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Contamination aspects in integrating high dielectric constant and ferroelectric materials into CMOS processes
Boubekeur, H.
Dissertation
2002Effect of barium contamination on gate oxide integrity in high-k DRAM
Boubekeur, H.; Mikolajick, T.; Nagel, N.; Bauer, A.; Frey, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2002Platinum contamination issues in ferroelectric memories
Boubekeur, H.; Mikolajick, T.; Pamler, W.; Hopfner, J.; Frey, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2001Barium, strontium and bismuth contamination in CMOS processes
Boubekeur, H.; Mikolajick, T.; Höpfner, J.; Dehm, C.; Pamler, W.; Steiner, J.; Kilian, G.; Kolbesen, B.O.; Bauer, A.; Frey, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
2001Impact of platinum contamination on ferroelectric memories
Boubekeur, H.; Mikolajick, T.; Nagel, N.; Dehm, C.; Pamler, W.; Bauer, A.; Frey, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000Aspects of barium contamination in high dielectric dynamic random-access memories
Boubekeur, H.; Hopfner, J.; Mikolajick, T.; Dehm, C.; Frey, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz