Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 1998 | Monte-Carlo simulation of silicon amorphization during ion implantation
Bohmayr, W.; Burenkov, A.; Lorenz, J.; Ryssel, H.; Selberherr, S. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1997 | Monte-Carlo simulation of silicon amorphization during ion implantation
Bohmayr, W.; Burenkov, A.; Lorenz, J.; Ryssel, H.; Selberherr, S. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Analytical model for phosphorus large angle tilted implantation
Burenkov, A.; Bohmayr, W.; Lorenz, J.; Ryssel, H.; Selberherr, S. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Statistical accuracy and CPU-time characteristic of three trajectory split methods for Monte-Carlo simulation of ion implantation
Bohmayr, W.; Burenkov, A.; Lorenz, J.; Ryssel, H.; Selberherr, S. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Trajectory split method for Monte-Carlo simulation of ion implantation
Bohmayr, W.; Burenkov, A.; Lorenz, J.; Ryssel, H.; Selberherr, S. | Zeitschriftenaufsatz |