Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007AFM tips for 58 nm and smaller node applications
Heidelberg, A.; Wu, X.; Philipp, S.; Weidner, P.; Kücher, P.; Bloeß, H.
Konferenzbeitrag
2007Extending conventional scatterometry using generalized ellipsometry
Reinig, P.; Geiler, T.; Mört, M.; Hingst, T.; Bloeß, H.; Renger, J.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2007Nano-Raman: Monitoring nanoscale stress
Uhlig, B.; Zollondz, J.-H.; Haberjahn, M.; Bloess, H.; Kücher, P.
Konferenzbeitrag