Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2007High rate deposition of magnetic material by gas flow sputtering
Bandorf, R.; Bloche, A.; Ortner, K.; Lüthje, H.; Jung, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007High rate deposition of soft magnetic thick films by gas flow sputtering
Bandorf, R.; Bloche, A.; Ortner, K.; Jung, T.
Konferenzbeitrag