Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Laser Trimming of Micro Mirror Devices
Haenel, J.; Keiper, B.; Bleul, K.; Kaufmann, C.; Bonitz, J.
Zeitschriftenaufsatz
2007Laser Trimming of MEMS
Bleul, K.; Bonitz, J.; Haenel, J.; Kaufmann, C.; Keiper, B.; Mehner, J.; Petsch, T.
Konferenzbeitrag