Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2006Mobile, unipolare, elektrostatische Waferanordnung
Bollmann, D.; Bleier, M.; Wieland, R.
Patent
2005Characterization of electrostatic carrier substrates to be used as a support for thin semiconductor wafers
Bock, K.; Landesberger, C.; Bleier, M.; Bollmann, D.; Hemmetzberger, D.
Konferenzbeitrag
2005Traeger fuer einen Wafer, Verfahren zum Herstellen eines Traegers und Verfahren zum Handhaben eines Wafers
Bleier, M.; Landesberger, C.; Hemmetzberger, J.D.
Patent
2003MOBILER HALTER FUER EINEN WAFER
Landesberger, C.; Bleier, M.; Klumpp, A.
Patent
2003New manufacturing concepts for ultra-thin silicon and gallium arsenide substrates
Bock, K.; Bleier, M.; Köthe, O.; Landesberger, C.
Konferenzbeitrag
2003Verfahren zum Bearbeiten eines Wafers
Koethe, O.; Landesberger, C.; Bleier, M.
Patent
2002Verfahren und Anordnung zum Abtrennen duenner Oberflaechenbereiche von Substraten
Haberger, K.; Bleier, M.
Patent
1995Verfahren zum zerstoerungsfreien Ermitteln der Dicke eines Wafers
Haberger, K.; Bleier, M.
Patent
1981Arsenic implanted polysilicon layers.
Ryssel, H.; Bleier, M.; Prinke, G.; Haberger, K.; Kranz, H.; Iberl, F.
Zeitschriftenaufsatz