Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Prolonged Corrosion Stability of a Microchip Sensor Implant during In Vivo Exposure
Glogener, P.; Krause, M.; Katzer, J.; Schubert, M.A.; Birkholz, M.; Bellmann, O.; Kröger-Koch, C.; Hammon, H.M.; Metges, C.C.; Welsch, C.; Ruff, R.; Hoffmann, K.P.
Zeitschriftenaufsatz
2014System integration of a silicone-encapsulated glucose monitor implant
Birkholz, M.; Glogener, P.; Basmer, T.; Glös, F.; Genschow, D.; Welsch, C.; Ruff, R.; Hoffmann, K.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2009BEOL embedded RF-MEMS switch for mm-wave applications
Kaynak, M.; Ehwald, K.-E.; Drews, J.; Scholz, R.; Korndorfer, F.; Knoll, D.; Tillack, B.; Barth, R.; Birkholz, M.; Schulz, K.; Sun, Y.M.; Wolansky, D.; Leidich, S.; Kurth, S.; Gurbuz, Y.
Konferenzbeitrag
2005Preferred orientation and anisotropic growth in polycrystalline ZnO:Al films prepared by magnetron sputtering
Fenske, F.; Selle, B.; Birkholz, M.
Zeitschriftenaufsatz
2004Hochisolierende Schicht und Verfahren zu ihrer Herstellung
Birkholz, M.; Jung, T.
Patent
2004Metalloxid-Metall Nanokompositschichten für Verschleiss- und Korrosionsschutz
Birkholz, M.; Bialas, O.; Jung, T.
Zeitschriftenaufsatz
2004Nanocomposite layers of ceramic oxides and metals prepared by reactive gas-flow sputtering
Birkholz, M.; Albers, U.; Jung, T.
Zeitschriftenaufsatz
2004X-ray diffraction study on residual stress and preferred orientation in thin titanium films subjected to a high ion flux during deposition
Birkholz, M.; Genzel, C.; Jung, T.
Zeitschriftenaufsatz
2003Neue Entwicklungen beim Hohlkatoden-Gasflusssputtern
Ortner, K.; Birkholz, M.; Jung, T.
Zeitschriftenaufsatz
2003Structure-function relationship between preferred orientation of crystallites and electrical resistivity in thin polycrystalline ZnO:Al films
Birkholz, M.; Selle, B.; Fenske, F.; Fuhs, W.
Zeitschriftenaufsatz
2003Verfahren zur Herstellung von Katalysatoren
Birkholz, M.; Jung, T.
Patent
2002Highly (100)-oriented growth of polycrystalline silicon films on glass by pulsed magnetron sputtering
Reinig, P.; Selle, B.; Fenske, F.; Fuhs, W.; Alex, V.; Birkholz, M.
Zeitschriftenaufsatz
2001Amorphous-crystalline phase transition during the growth of thin films: The case of microcrystalline silicon
Birkholz, M.; Selle, B.; Fuhs, W.; Christiansen, S.; Strunk, H.P.; Reich, R.
Zeitschriftenaufsatz
2001Crystallinity of thin silicon films deposited at low temperatures: Combined effect of biasing and structuring the substrate
Birkholz, M.; Conrad, E.; Fuhs, W.
Zeitschriftenaufsatz
2001Tailoring the structure of low-temperature-deposited microcrystalline silicon films by biasing the substrate
Birkholz, M.; Selle, B.; Fuhs, W.; Williamson, D.L.
Konferenzbeitrag