Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Electrical and structural properties of ultrathin SiON films on Si prepared by plasma nitridation
Hourdakis, E.; Nassiopoulou, A.G.; Parisini, A.; Reading, M.A.; Berg, J.A. van den; Sygellou, L.; Ladas, S.; Petrik, P.; Nutsch, A.; Wolf, M.; Roeder, G.
Zeitschriftenaufsatz
2009Complementary metrology within a European joint laboratory
Nutsch, A.; Beckhoff, B.; Altmann, R.; Berg, J.A. van den; Giubertoni, D.; Hoenicke, P.; Bersani, M.; Leibold, A.; Meirer, F.; Müller, M.; Pepponi, G.; Otto, M.; Petrik, P.; Reading, M.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
2007Characterization of the Segregation of Arsenic at the Interface SiO2/Si
Steen, C.; Pichler, P.; Ryssel, H.; Pei, L.; Duscher, G.; Werner, M.; Berg, J.A. van den; Windl, W.
Konferenzbeitrag