Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Precipitation of antimony implanted into silicon
Koffel, S.; Pichler, P.; Reading, M.A.; Berg, J. van den; Kheyrandish, H.; Hamm, S.; Lerch, W.; Pakfar, A.; Tavernier, C.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1997Range and damage distributions in ultra low-energy boron ion implantation
Hatzopoulos, N.; Suder, S.; Berg, J. van den; Donnelly, S.E.; Armour, D.G.; Panknin, D.; Fukark, W.; Frey, L.; Foad, M.A.; Moffatt, S.; Bailey, P.; Noakes, C.T.Q.
Konferenzbeitrag