Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016Influence of post-hydrogenation upon electrical, optical and structural properties of hydrogen-less sputter-deposited amorphous silicon
Gerke, S.; Becker, H.W.; Rogalla, D.; Singer, F.; Brinkmann, N.; Fritz, S.; Hammud, A.; Keller, P.; Skorka, D.; Sommer, D.; Weiss, C.; Flege, S.; Hahn, G.; Job, R.; Terheiden, B.
Zeitschriftenaufsatz
2004Looking back: Artwork and mask making in Dresden for the east german megabit chip project
Becker, H.W.
Konferenzbeitrag
2003Early mask making during the 1960's in Dresden
Becker, H.W.
Konferenzbeitrag
2002High-performance 6-inch EUV mask blanks produced under real production conditions by ion-beam sputter deposition
Becker, H.W.; Sobel, F.; Aschke, L.; Renno, M.; Krieger, J.; Buttgereit, U.; Hess, G.; Lenzen, F.; Knapp, K.; Yulin, S.A.; Feigl, T.; Kuhlmann, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
1996Artwork und Masken für ASICs, Sensoren und Mikrosysteme
Bätz, U.; Becker, H.W.; Kreißig, B.; Kunze, K.; Lauche, J.; Peter, W.
Aufsatz in Buch