Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Modelling and Study of a Microwave Plasma Source for High-rate Etching
Pauly, S.; Schulz, A.; Walker, M.; Gorath, M.; Baumgärtner, K.-M.; Tovar, G.E.M.
Konferenzbeitrag
2008Entwicklung und Charakterisierung einer Mikrowellen-Plasmaquelle bei Atmosphärendruck für den Abbau von VOC-haltigen Abgasen
Leins, M.; Schulz, A.; Walker, M.; Schumacher, U.; Stroth, U.; Reiser, M.; Alberts, L.; Kaiser, M.; Baumgärtner, K.-M.
Konferenzbeitrag
2005Investigation of the practicability of low-pressure microwave plasmas in the sterilisation of food packaging materials at industrial level
Schneider, J.; Baumgärtner, K.; Feichtinger, J.; Krüger, J.; Muranyi, P.; Schulz, A.; Walker, M.; Wunderlich, J.; Schumacher, U.
Konferenzbeitrag
2002New microwave plasma sources for large scale applications up to atmospheric pressure
Emmerich, R.; Kaiser, M.; Urban, H.; Graf, M.; Räuchle, E.; Elsner, P.; Feichtinger, J.; Schulz, A.; Walker, M.; Baumgärtner, K.-M.; Muegge, H.
Konferenzbeitrag
2001Linear ausgedehnte Anordnung zur grossflaechigen Mikrowellenbehandlung und zur grossflaechigen Plasmaerzeugung
Emmerich, R.; Kaiser, M.; Urban, H.; Elsner, P.; Baumgaertner, K.; Raeuchle, E.; Raeuchle, K.
Patent
2001A new linearly extended bifocal microwave plasma device
Kaiser, M.; Urban, H.; Emmerich, R.; Elsner, P.; Baumgärtner, K.-M.; Räuchle, E.
Zeitschriftenaufsatz
2000Silicon oxide films from the Plasmodul®
Walker, M.; Baumgärtner, K.M.; Feichtinger, J.; Kaiser, M.; Schulz, A.; Räuchle, E.
Zeitschriftenaufsatz