Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Combined ‘moth-eye’ structured and graded index-layer anti-reflecting coating for high index glasses
Kraus, Matthias; Diao, Zhaolu; Weishaupt, Klaus; Spatz, P. Joachim; Täschner, Kerstin; Bartzsch, Hagen; Schmittgens, Ralph; Brunner, Robert
Zeitschriftenaufsatz
2019Elektrisch isolierende und piezoelektrisch aktive Schichten
Barth, Stephan; Hildisch, Jan; Bartzsch, Hagen
Zeitschriftenaufsatz
2019Freeform and Laser Optical Coatings by Inline Magnetron Sputtering
Glöß, Daniel; Hartung, Ullrich; Drescher, Andy; Frach, Peter; Bartzsch, Hagen
Konferenzbeitrag
2019Influence of growth conditions and film thickness on the anodization behavior of sputtered aluminum films and the fabrication of nanorod arrays
Barth, Stephan; Derenko, Susan; Bartzsch, Hagen; Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Patrovsky, Fabian; Fiehler, Vera; Uhlig, Tino; Frach, P.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Investigation of ScAlN for piezoelectric and ferroelectric applications
Petrich, R.; Bartsch, H.; Tonisch, K.; Jaekel, K.; Barth, S.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Delan, A.; Krischok, S.; Strehle, S.; Hoffmann, M.; Müller, J.
Konferenzbeitrag
2019Piezoelectric and Electrically Insulating Coatings
Barth, Stephan; Hildisch, Jan; Bartzsch, Hagen
Zeitschriftenaufsatz
2019Sputter deposition of undoped and doped SiO2 films for temperature compensated SAW components
Bartzsch, Hagen; Hildisch, Jan; Täschner, Kerstin; Barth, Stephan; Rückriem, Robert; Nestler, Matthias
Konferenzbeitrag
2019Untersuchung von ScAlN für piezoelektrische und ferroelektrische Anwendungen
Petrich, Rebecca; Bartsch, Heike; Tonisch, Katja; Jaekel, Konrad; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Delan, Annekatrin; Krischok, S.; Strehle, S.; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Konferenzbeitrag
2018Coating technology for locally varying optical function on 2d and 3d elements
Glöß, Daniel; Bartzsch, Hagen; Goschurny, Thomas; Drescher, Andy; Hartung, Ullrich; Frach, Peter
Konferenzbeitrag
2018Influence of rf substrate bias on density and mechanical properties of sputtered SiO2 thin films for SAW applications
Täschner, Kerstin; Hildisch, Jahn; Bartzsch, Hagen; Modes, Thomas; Zywitzki, Olaf
Konferenzbeitrag
2018Piezoelektrische AlN- und AlScN-Schichten für die energieautarke Sensorik
Bartzsch, Hagen; Barth, Stephan; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2018Verfahren zum Abscheiden einer Schicht mittels einer Magnetronsputtereinrichtung
Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Hildisch, Jan
Patent
2017Anodization of sputtered substoichiometric aluminum oxide thin-films for improved nanorod array fabrication
Patrovsky, Fabian; Fiehler, Vera; Derenko, Susan; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Ortstein, Katrin; Frach, Peter; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2017Effect of scandium content on structure and piezoelectric properties of AlScN films deposited by reactive pulse magnetron sputtering
Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Frach, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2017Energy harvesting based on piezoelectric AlN and AlScN thin films deposited by high rate sputtering
Frach, Peter; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel
Konferenzbeitrag
2017Large area precision coatings by pulse magnetron sputtering
Frach, Peter; Glöß, Daniel; Goschurny, Thomas; Drescher, Andy; Hartung, Ullrich; Bartzsch, Hagen; Heisig, Andreas; Grune, Harald; Leischnig, L.; Leischnig, S.; Bundesmann, C.
Konferenzbeitrag
2017Time-sequential working wavelength-selective filter for flat autostereoscopic displays
Barré, René de la; Bartmann, Roland; Jurk, Silvio; Kuhlmey, Mathias; Duckstein, Bernd; Seeboth, Arno; Lötzsch, Detlef; Rabe, Christian; Frach, Peter; Bartzsch, Hagen; Gittner, Matthias; Bruns, Stefan; Schottner, Gerhard; Fischer, Johanna
Zeitschriftenaufsatz
2017Verfahren zur Herstellung einer feldförmigen, homogenen Rod-Anordnung und deren Verwendung
Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Barth, Stephan; Eng, Lukas; Derenko, Susan
Patent
2017Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Rod-Array-Anordnung und Rod-Array-Anordnung
Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Barth, Stephan; Eng, Lukas; Derenko, Susan
Patent
2016Adjustment of plasma properties in magnetron sputtering by pulsed powering in unipolar/bipolar hybrid pulse mode
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Gittner, Mathias; Labitzke, Rainer
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Deposition of rutile TiO2 films by pulsed and high power pulsed magnetron sputtering
Schönberger, W.; Bartzsch, H.; Schippel, S.; Bachmann, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Energy Harvesting auf der Basis piezoelektrischer AlN- und AlScN -Dünnschichten
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2016Magnetron sputtering of piezoelectric AlN and AlScN thin films and their use in energy harvesting applications
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Modes, Thomas; Zywitzki, Olaf; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Zeitschriftenaufsatz
2016Precision optical coatings on large substrates by reactive magnetron sputtering
Frach, P.; Glöß, D.; Bartzsch, H.; Goschurny, T.; Drescher, A.; Gottfried, C.; Liebig, J.-S.
Konferenzbeitrag
2016Towards tuneable thin film filters with the use of liquid crystals
Bartzsch, H.; Frach, P.; Gittner, M.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Seeboth, A.; Lötzsch, D.; Rabe, C.
Konferenzbeitrag
2016Verfahren zum Abscheiden eines transparenten Mehrschichtsystems mit Kratzschutzeigenschaften
Bartzsch, Hagen; Täschner, Kerstin; Frach, Peter
Patent
2015Adjustment of Plasma Properties in Magnetron sputtering by Pulsed Powering in Mixed Unipolar and Bipolar Mode
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Gittner, Matthias; Labitzke, Rainer
Konferenzbeitrag
2015Deposition of piezoelectric films for energy harvesting
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Härter, H.
Zeitschriftenaufsatz
2015Influence of process parameters on properties of piezoelectric AlN and AlScN thin films for sensor and energy harvesting applications
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Modes, Thomas; Zywitzki, Olaf; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2015Verfahren zum Abscheiden einer piezoelektrischen AlN-haltigen Schicht sowie eine AlN-haltige piezoelektrische Schicht
Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Barth, Stephan
Patent
2014Co-sputtering of rugate filters of reduced loss and roughness
Taeschner, Kerstin; Bartzsch, Hagen; Herffurth, Tobias; Schröder, Sven; Duparre, Angela; Frach, Peter
Konferenzbeitrag
2014Effect of process parameters on structure and piezoelectric properties of AlN and AlXSc1-XN films deposited by pulsed magnetron sputtering
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Zywitzki, Olaf; Herzog, Thomas; Walter, Susan; Heuer, Henning
Konferenzbeitrag
2014Roughness and optical losses of rugate coatings
Herffurth, Tobias; Trost, Marcus; Schröder, Sven; Täschner, Kerstin; Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Duparré, Angela; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2014Sputter deposition of dielectric films for high temperature sensor applications
Bartzsch, H.; Frach, P.; Gloss, D.; Barth, S.
Konferenzbeitrag
2014Sputter deposition of piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Barth, Stefan; Glöß, Daniel; Bartzsch, Hagen; Juuti, J.; Gerlach, Gerald; Suchaneck, Günther; Heuer, Henning; Walter, Susan; Herzog, Thomas; Frach, Peter; Palosaari, J.
Konferenzbeitrag
2014Sputter deposition of stress-controlled piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Barth, Stefan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Walter, Susann; Herzog, Thomas; Frach, Peter; Heuer, Henning
Zeitschriftenaufsatz
2014Verfahren zum Abscheiden einer Schicht auf einer organischen Halbleiterschicht
Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Fahlteich, John; Gottfried, Christian
Patent
2013High power density pulse magnetron sputtering - process and film properties
Frach, Peter; Gottfried, Christian; Fietzke, Fred; Klostermann, Heidrun; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel
Konferenzbeitrag
2013Reactive magnetron sputter technologies for precision optical coatings
Frach, P.; Bartzsch, H.; Gloess, D.; Taeschner, K.; Liebig, J.-S.
Konferenzbeitrag
2013Roughness and optical losses of rugate coatings
Herffurth, Tobias; Trost, Marcus; Schröder, Sven; Täschner, Kerstin; Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Duparré, Angela; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2013Sputter deposition of stress controlled piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Herzog, Thomas; Walter, Susan; Heuer, Henning
Konferenzbeitrag
2012Low demage magnetron sputtering of TCO films
Bartzsch, H.; Glöß, D.; Frach, P.; Gittner, M.; Gottfried, C.; Suzuki, K.
Konferenzbeitrag
2012Magnetron assisted PECVD process for deposition of a-Si:H and µc-Si:H from a silane-hydrogen-argon gas mixture
Frach, P.; Pötschick, P.; Bartzsch, H.; Delan, A.
Konferenzbeitrag
2012A novel nanoparticle source for vacuum deposition
Schmittgens, R.; Holst, E.; Gerlach, G.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Maicu, M.; Frach, P.
Konferenzbeitrag
2012Präzisionsbeschichtung für Optik, Sensorik und Elektronik
Frach, Peter; Potinecke, Thomas; Slama, Alexander; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Mehlstäubl, Marita
Aufsatz in Buch
2012Pulse Magnetron Sputtering with high power density-an attempt at a critical evaluation
Frach, P.; Gottfried, C.; Fietzke, F.; Klostermann, H.; Bartzsch, H.; Glöß, D.
Konferenzbeitrag
2012Pulse Magnetron Sputtering with High Power Density-Process and Film Properties
Frach, P.; Gottfried, C.; Fietzke, F.; Klostermann, H.; Bartzsch, H.; Gloess, D.
Konferenzbeitrag
2012Reactive pulse magnetron sputtering for deposition of piezoelectric AlN layers
Glöß, D.; Bartzsch, H.; Gittner, M.; Frach, P.; Herzog, T.; Walter, S.; Heuer, H.
Konferenzbeitrag
2012Scratch resistant optical coatings on polymers by magnetron-plasma-enhanced chemical vapor deposition
Täschner, K.; Bartzsch, H.; Frach, P.; Schultheiss, E.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Smart ultrasonic sensors systems: Potential of aluminum nitride thin films for the excitation of the ultrasound at high frequencies
Walter, Susan; Herzog, Thomas; Heuer, Henning; Bartzsch, Hagen; Gloess, Daniel
Zeitschriftenaufsatz
2011The deposition of multilayer films on plastic substrates by reactive pulse magnetron sputtering
Fukagawa, T.; Kato, Y.; Bartzsch, H.; Suzuki, K.
Zeitschriftenaufsatz
2011Piezoelectric behaviour of sputtered aluminium nitride thin film for high frequency ultrasonic sensors
Herzog, T.; Walter, S.; Bartzsch, H.; Gittner, M.; Gloess, D.; Heuer, H.
Konferenzbeitrag
2011Process control in sputtering of optical coatings
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Täschner, K.
Konferenzbeitrag
2011Properties of piezoelectric AlN layers deposited by reactive pulse magnetron sputtering
Bartzsch, H.; Gittner, M.; Glöß, D.; Frach, P.; Herzog, T.; Walter, S.; Heuer, H.
Konferenzbeitrag
2011Smart ultrasonic sensors systems: Investigations on aluminum nitride thin films for the excitation of high frequency ultrasound
Walter, S.; Herzog, T.; Heuer, H.; Bartzsch, H.; Glöß, D.
Konferenzbeitrag
2010Advanced key technologies for magnetron sputtering and PECVD of inorganic and hybrid transparent coatings
Frach, P.; Glöß, D.; Bartzsch, H.; Täschner, K.; Liebig, J.; Schultheiss, E.
Zeitschriftenaufsatz
2010Multifunctional optical coatings on polymers deposited by pulse magnetron sputtering and magnetron enhanced PECVD
Frach, P.; Bartzsch, H.; Täschner, K.; Liebig, J.-S.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2010Scratch resistant optical coatings on polymers by magnetron-PECVD
Taeschner, K.; Bartzsch, H.; Frach, P.; Schultheiß, E.
Konferenzbeitrag
2010Verfahren zum Abscheiden dielektrischer Schichten im Vakuum sowie Verwendung des Verfahrens
Bartzsch, H.; Frach, P.; Fahland, M.; Gottfried, C.; Pötschick, P.
Patent
2009Electrical insulation properties of sputter-deposited SiO2, Si3N4 and Al2O3 films at room temperature and 400 degrees C
Bartzsch, H.; Glöß, D.; Frach, P.; Gittner, M.; Schultheiß, E.; Brode, W.; Hartung, J.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Highly insulating Al2O3, SiO2, and Si3N4 films for sensor applications deposited by reactive pulse magnetron sputtering
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Gittner, M.; Schultheiß, E.; Brode, W.; Hartung, J.
Konferenzbeitrag
2009Multifunctional optical coatings on polymers deposited by pulse magnetron sputtering and magnetron enhanced PECVD
Frach, P.; Bartzsch, H.; Taeschner, K.; Liebig, J.; Schultheiß, E.
Konferenzbeitrag
2009Reactive pulse magnetron sputtered SiOxNy coatings on polymers
Lau, K.; Weber, J.; Bartzsch, H.; Frach, D.P.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2008Electrically insulating Al2O3 and SiO2 films for sensor and photovoltaic applications deposited by reactive pulse magnetron sputtering, hollow cathode arc activated deposition and magnetron-PECVD
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Fahland, M.; Händel, F.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2008Reactive magnetron sputter technologies for precision optical and antireflective coatings on glass and polymer substrates
Bartzsch, H.; Frach, P.; Lau, K.; Weber, J.
Konferenzbeitrag
2008Reactive pulse magnetron sputtered SiOxNy coatings on polymers
Lau, K.; Weber, J.; Bartzsch, H.; Frach, P.
Konferenzbeitrag
2008Sputter deposition of silicon oxynitride gradient and multilayer coatings
Weber, J.; Bartzsch, H.; Frach, P.
Zeitschriftenaufsatz
2008Sputter process with time-variant reactive gas mixture for the deposition of optical multilayer and gradient layer systems
Bartzsch, H.; Weber, J.; Lau, K.; Glöß, D.; Frach, P.
Konferenzbeitrag
2008Verfahren zum Abscheiden einer Gradientenschicht auf einem Kunststoffsubstrat sowie Kunststoffsubstrat mit einer Gradientenschicht
Bartzsch, H.; Taeschner, K.; Meyer, B.; Frach, P.; Kubusch, J.
Patent
2008Verfahren zum Abscheiden einer Kratzschutzbeschichtung auf einem Kunststoffsubstrat
Bartzsch, H.; Frach, P.; Taeschner, K.; Gloess, D.; Gottfried, C.; Fahland, M.
Patent
2007Process technology, applications and potentials of magnetron sputtering technology for optical coatings
Vergöhl, M.; Frach, P.; Bartzsch, H.; Pflug, A.; Rickers, C.
Konferenzbeitrag
2006The deposition of multilayer films on plastic substrates by reactive pulse magnetron sputtering
Fukagawa, T.; Shoji, H.; Kato, Y.; Bartzsch, H.; Suzuki, K.
Konferenzbeitrag
2006Innovations in stationary magnetron sputtering of optical coatings
Bartzsch, H.; Frach, P.; Weber, J.
Konferenzbeitrag
2006Nutzung des Pulsmodus als technologischer Parameter beim reaktiven Puls Magnetron Sputtern
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Kirchhoff, V.
Konferenzbeitrag
2006Pulse magnetron sputtering in a reactive gas mixture of variable composition to manufacture multilayer and gradient optical coatings
Lange, S.; Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Silicon nitride thin film with low absorption deposited by high rate reactive pulse magnetron sputtering
Shoji, H.; Fukagawa, T.; Kato, Y.; Bartzsch, H.; Suzuki, K.; Ohno, S.; Takasawa, N.; Sato, Y.; Yoshikawa, M.
Konferenzbeitrag
2005Deposition of broadband antireflection coatings on plastic substrates by evaporation and reactive pulse magnetron sputtering
Weber, J.; Schulz, U.; Kaiser, N.; Bartzsch, H.; Frach, P.
Konferenzbeitrag
2005Innovative stationary and in-line sputter technologies for precision optical coatings
Frach, P.; Bartzsch, H.; Liebig, J.
Konferenzbeitrag
2005Innovative stationary sputter technologies for precision optical and antireflection coatings
Bartzsch, H.; Frach, P.; Hentsch, W.
Konferenzbeitrag
2005Precision optical and antireflection multilayer and gradient coatings containing reactively sputtered oxides, nitrides and fluorides
Bartzsch, H.; Frach, P.; Weber, J.; Liebig, J.-S.
Konferenzbeitrag
2005Verfahren zur Herstellung eines Duennschichtsystems durch Puls-Magnetron-Sputtern
Goedicke, K.; Frach, P.; Bartzsch, H.; Kirchhoff, V.; Labitzke, R.
Patent
2005Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen eines Duennschichtsystems mittels Zerstaeuben
Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.; Lange, S.
Patent
2004Einrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten
Frach, P.; Bartzsch, H.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Liebig, J.; Kirchhoff, V.
Patent
2004Graded refractive index layer systems for antireflective coatings and rugate filters deposited by reactive pulse magnetron sputtering
Bartzsch, H.; Lange, S.; Frach, P.; Goedicke, K.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2004Katodenzerstaeubungsverfahren
Bartzsch, H.; Gottfried, C.; Frach, P.; Goedicke, K.; Lange, S.
Patent
2004Pulse magnetron sputtering in a reactive gas mixture of variable composition to manufacture multilayer and gradient optical coatings
Lange, S.; Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.
Konferenzbeitrag
2004Silicon oxynitride rugate filters grown by reactive pulse magnetron sputtering
Bartzsch, H.; Lange, S.; Frach, P.; Goedicke, K.
Konferenzbeitrag
2003Abscheidung optisch, elektrisch und akustisch wirksamer Schichten mit dem Doppel-Ring-Magnetron
Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.
Zeitschriftenaufsatz
2003Properties of SiO2 and Al2O3 films for electrical insulation applications deposited by reactive pulse magnetron sputtering
Bartzsch, H.; Glöß, D.; Bocher, B.; Frach, P.; Goedicke, K.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2002Energetic substrate bonbardment in reactive sputtering with flange-mounted magnetrons in different pulse modes
Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.; Gottfried, C.
Konferenzbeitrag
2002Ensuring long term stability of process and film parameters during target lifetime in reactive magnetron sputtering
Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.; Böcher, B.; Gottfried, C.
Konferenzbeitrag
2001Einrichtung zum Magnetronzerstaeuben
Frach, P.; Goedicke, K.; Holfeld, A.; Gottfried, C.; Bartzsch, H.
Patent
2001Influence of the unipolar or bipolar pulse mode in reactive magnetron sputtering on the deposition and properties of optical films
Frach, P.; Goedicke, K.; Gottfried, C.; Bartzsch, H.; Klinkenberg, S.
Konferenzbeitrag
2001Modeling the stability of reactive sputtering processes
Bartzsch, H.; Frach, P.
Konferenzbeitrag
2001Stationary reactive pulse magnetron sputtering of optical multilayers and gradient layers on 8" substrates
Frach, P.; Bartzsch, H.; Goedicke, K.
Konferenzbeitrag
2001A versatile coating tool for reactive in-line sputtering in different pulse modes
Frach, P.; Goedicke, K.; Gottfried, C.; Bartzsch, H.; Klinkenberg, S.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2000Anode effects on energetic particle bombardment of the substrate in pulsed magnetron sputtering
Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.
Konferenzbeitrag
2000Physikalische Grundlagenuntersuchungen zur Prozeßstabilität und zur Homogenität des Teilchen- und Energiestroms auf das Substrat beim stationären reaktiven Pulssputtern mit dem Doppelringmagnetron
Bartzsch, H.
Dissertation
1999Different pulse techniques for stationary reactive sputtering with double ring magnetron
Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.; Gottfried, C.
Zeitschriftenaufsatz
1997The double ring magnetron process module - a tool for stationary deposition of metals, insulators and reactive sputtered compounds
Frach, P.; Gottfried, C.; Bartzsch, H.; Goedicke, K.
Zeitschriftenaufsatz
1996Numerical modelling of charged particle motion in electric and magnetic fields to assist magnetron design
Liebig, J.-S.; Frach, P.; Bartzsch, H.; Schulze, D.; Schwanbeck, H.
Konferenzbeitrag