Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Overview of the PALM model system 6.0
Maronga, B.; Banzhaf, S.; Burmeister, C.; Esch, T.; Forkel, R.; Fröhlich, D.; Fuka, V.; Gehrke, K.F.; Geletič, J.; Giersch, S.; Gronemeier, T.; Groß, G.; Heldens, W.; Hellsten, A.; Hoffmann, F.; Inagaki, A.; Kadasch, E.; Kanani-Sühring, F.; Ketelsen, K.; Ali Khan, B.; Knigge, C.; Knoop, H.; Krč, P.; Kurppa, M.; Maamari, H.; Matzarakis, A.; Mauder, M.; Pallasch, M.; Pavlik, D.; Pfafferott, J.; Resler, J.; Rissmann, S.; Russo, E.; Salim, M.; Schrempf, M.; Schwenkel, J.; Seckmeyer, G.; Schubert, S.; Sühring, M.; Tils, R. von; Vollmer, L.; Ward, S.; Witha, B.; Wurps, H.; Zeidler, J.; Raasch, S.
Zeitschriftenaufsatz
2017Stress reduction in high voltage MIS capacitor fabrication
Banzhaf, S.; Kenntner, J.; Grieb, M.; Schwaiger, S.; Erlbacher, T.; Bauer, A.J.; Frey, L.; Frey, L.
Konferenzbeitrag
2016Post-trench processing of silicon deep trench capacitors for power electronic applications
Banzhaf, Stefanie; Schwaiger, Stefan; Erlbacher, Tobias; Bauer, Anton J.; Frey, Lothar
Konferenzbeitrag