Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Hochionisierte Abscheideverfahren für Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis
Bandorf, R.
Zeitschriftenaufsatz
2019Material structure and piezoresistive properties of niobium containing diamond-like-carbon films
Grein, M.; Bandorf, R.; Schiffmann, K.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2019Niobium-containing DLC coatings on various substrates for strain gauges
Grein, M.; Gerstenberg, J.; Heide, C. von der; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Dietzel, A.
Zeitschriftenaufsatz
20188th International Conference on Fundamentals and Applications of HIPIMS, 13.-14.6.2017, Braunschweig, Germany
Bandorf, R.; Ehiasarian, A.
Zeitschriftenaufsatz
2018Controlling stoichiometry and ionization of reactive HIPIMS processes by using plasma emission monitoring
Rieke, J.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Schütte, T.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2018Hochionisiere Abscheideverfahren für Sensor- und Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis
Bandorf, R.
Zeitschriftenaufsatz
2018Novel process control technique for reactive high-density plasmas by combining different control methods
Schütte, T.; Neiß, P.; Rieke, J.; Gerdes, H.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2018Pizoelektrischer Stapelaktuator und Verfahren zur Herstellung desselben
Bandorf, Ralf; Kaden, Dirk; Ortner, Kai; Quenzer, Hans-Joachim
Patent
2018Preface: Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference 2017
Walton, S.G.; Bandorf, R.; Junghähnel, M.; Stoessel, C.H.
Zeitschriftenaufsatz
2017Gas flow sputtering for manufacture of high quality hard magnetic films
Bandorf, R.; Gröninger, A.; Ortner, K.; Gerdes, H.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2017Preface -The Society of Vacuum Coaters 59th Annual Technical Conference
Walton, S.G.; Stoessel, C.H.; Bandorf, R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016The 2015 SVC TechCon special issue. Preface
Walton, S.G.; Stoessel, C.H.; Bandorf, R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
20166th International Conference on Fundamentals and Applications of HIPIMS, 10.-11.6.2015, Braunschweig, Germany. Editorial
Bandorf, R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Direct metallization of PMMA with aluminum films using HIPIMS
Bandorf, R.; Waschke, S.; Carreri, F.C.; Vergöhl, M.; Grundmeier, G.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Efficient process control and monitoring for HIPIMS applied to deposition of ITO films
Carreri, F.C. de; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2016Gas flow sputtering for manufacture of high-quality hard magnetic films
Bandorf, R.; Gröninger, A.; Ortner, K.; Gerdes, H.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2016Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling
Carreri, F.C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016HIPIMS ITO films from a rotating cylindrical cathode
Carreri, F.C.; Sabelfeld, A.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Planar langmuir probe investigations of metallic and reactive bipolar sputtered aluminum
Bandorf, R.; Gerdes, H.; Barati, V.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2016Plasmaprozesse der nächsten Generation
Bandorf, R.
Zeitschriftenaufsatz
2015Deposition of complex optical interference filters on polymer substrates by magnetron sputtering and PECVD processes
Neubert, T.; Lips, J.; Bandorf, R.; Sabelfeld, A.; Vergöhl, M.; Rohwer, K.; Simon, A.
Konferenzbeitrag
2015Different approaches for controlling a reactive HIPIMS sputter process
Gerdes, H.; Bandorf, R.; Mark, M.; Schütte, T.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015Direct metallization of PMMA with aluminum films using HIPIMS
Bandorf, R.; Waschke, S.; Carreri, F. C.; Grundmeier, G.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015Haftfeste Direktmetallisierung von Kunststoffen durch Beschichtung mit Ionen
Bandorf, R.; Waschke, S.; Vergöhl, M.; Grundmeier, G.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2015Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling
Carreri, F. C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015HIPIMS - an ionized sputtering technology arriving in industry
Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2015HIPIMS - Hochleistungs-Impuls-Magnetronsputtern
Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2015HIPIMS ITO films from a rotating cylindrical cathode
Carreri, F.C. de; Sabelfeld, A.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015Verfahren und Vorrichtung zur geregelten, gepulsten ionisierten Beschichtung von Substraten in einer Beschichtungskammer
Bandorf, Ralf; Gerdes, Holger; Schütte, Thomas
Patent
20144th International Conference on Fundamentals and Applications of HIPIMS and Final Event of COST Action MP0804 "Highly Ionized Pulse Plasma Processes - HIPP Processes", 12-13.6.2013, Braunschweig, Germany
Bandorf, R.; Ehiasarian, A.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Comparison of HIPIMS sputtered Ag- and Cu-surfaces leading to accelerated bacterial inactivation in the dark
Rtimi, S.; Baghriche, O.; Pulgarin, C.; Ehiasarian, A.; Bandorf, R.; Kiwi, J.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Different HIPIMS techniques for reactive desposition of alumina
Gerdes, H.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2014High power impulse magnetron sputtering - HIPIMS
Bandorf, R.; Sittinger, V.; Bräuer, G.
Aufsatz in Buch
2014Investigation of a new AC power supply for deposition of highly insulating alumina films
Carreri, F.C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2014Superposition of mid-frequency and high power impulse magnetron sputtering
Gerdes, H.; Sittinger, V.; Bandorf, R.; Lenck, O.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2013DEVICE AND METHOD FOR GAS FLOW SPUTTERING
Bandorf, Ralf
Patent
2013Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern - HIPIMS
Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2013PVD. High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS)
Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2012Deposition of piezoresistive films for strain gauge application using an industrial high-rate inline sputtering system
Petersen, M.; Heckmann, U.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2012Diamond-like carbon films as piezoresistors in highly sensitive force sensors
Petersen, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2012Exotic highly ionized pulse plasma processes
Bandorf, R.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Hochempfindliche Dünnschicht-Dehnungsmessstreifen auf technischen Bauteilen
Bandorf, R.; Gerdes, H.; Heckmann, U.; Petersen, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2012Höchste Präzision in kurzer Taktzeit
Bandorf, R.; Petersen, M.; Heckmann, U.; Möbius, M.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2012Influence of deposition parameters in PACVD-SiO2 preparation on resulting film properties
Bandorf, R.; Stasewitsch, I.; Gerdes, H.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2012Reactive HIPIMS sputter deposition of alumina from industrial size rotables
Gerdes, H.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2012Reactive sputter deposition of alumina coatings
Gerdes, H.; Bandorf, R.; Loch, D.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2011Beschichtungstechnologien
Bandorf, R.; Gerdes, H.
Aufsatz in Buch
2011Deposition rate characteristics for steady state high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) discharges generated with a modulated pulsed power (MPP) generator
Papa, F.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Ehiasarian, A.P.; Kolev, I.; Bräuer, G.; Tietema, R.; Krug, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011DLC-Beschichtung auf SU-8-Fotoresist für piezoresistive Anwendungen in der Kraftsensorik
Jordan, A.; Petersen, M.; Bandorf, R.; Büttgenbach, S.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2011Fabrication of magnetic layers for electromagnetic microactuators
Chen, J.; Ruffert, C.; Gatzen, H.H.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Aufsatz in Buch
2011Friction behavior in microsystems
Phataralaoha, A.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Büttgenbach, S.
Aufsatz in Buch
2011Highly ionised gas-flow sputtering
Bandorf, R.; Loch, D.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2011Magnetron sputtering and its applications
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Bewilogua, K.; Diehl, W.; Szyszka, B.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2011Matching of maximum gauge factor and TCR zero crossing of Me-DLC
Heckmann, U.; Bandorf, R.; Petersen, M.; Gwozdz, V.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2011Me-DLC films as material for highly sensitive temperature compensated strain gauges
Petersen, M.; Heckmann, U.; Bandorf, R.; Gwozdz, V.; Schnabel, S.; Bräuer, G.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2011Mess- und Prüfverfahren
Sander, U.; Gerdes, H.; Bandorf, R.
Aufsatz in Buch
2011Oberflächen-Dünnschichtsensorik erschließt neue Anwendungen
Düsing, J.F.; Suttmann, O.; Bandorf, R.; Gerdes, H.
Zeitschriftenaufsatz
2011Reactive HiPIMS of oxides for optical coatings
Vergöhl, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Bruns, S.; Werner, O.
Konferenzbeitrag
2011Verfahren zum Magnetronsputtern mit Ausgleich der Targeterosion
Bandorf, Ralf
Patent
2011Vorrichtung zur differenzierten Schichtratenmessung von Neutralteilchen und Ionen, Verfahren sowie Verwendung der Vorrichtung
Bandorf, R.; Papa, F.
Patent
2011Wear behavior in microactuator interfaces
Bandorf, R.; Pape, F.; Gatzen, H.H.; Bräuer, G.
Aufsatz in Buch
2010Friction of flat-flat micro contacts coated with amorphous carbon
Paulkowski, D.; Bandorf, R.; Schiffmann, K.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2010Gepulste Hochleistungs-PVD-Verfahren
Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2010Gepulste Plasmen für industrielle Beschichtungsprozesse
Bräuer, G.; Szyszka, B.; Bandorf, R.; Bewilogua, K.; Brand, J.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2010Magnetron sputtering. Milestones of 30 years
Bräuer, G.; Szyszka, B.; Vergöhl, M.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2010New superimposed pulsed plasma technology using High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) combined with DC or MF-frequency
Mark, G.; Parra, E.; Bandorf, R.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2009Development of Me-DLC films for strain gauge applications
Bandorf, R.; Heckmann, U.; Lübke, M.; Schnabel, S.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2009Friction of flat-flat micro contacts coated with amorphous carbon
Paulkowski, D.; Bandorf, R.; Schiffmann, K.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2009Gehaeuse mit einer Beschichtung
Staperfeld, G.; Sarova, G.; Bandorf, R.
Patent
2009HiPIMS - Technologie und Anwendungsfelder
Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Werner, O.; Sittinger, V.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2009Mikrotribologie
Bandorf, R.; Paulkowski, D.; Pape, F.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.H.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2009New materials for sputtered strain gauges
Heckmann, U.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Lübke, M.; Schnabel, S.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Optical emission spectroscopy of Ni, Cr, and NiCr for DC and high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS)
Gerdes, H.; Wellhausen, J.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2009Sputter deposition of strain gauges using ITO/Ag
Gerdes, H.; Bandorf, R.; Heckmann, U.; Schmidt, V.; Kricheldorf, H.-U.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2008Forschungsbedarf zur Erzeugung funktionaler Oberflächen
Diehl, W.; Bandorf, R.; Heckmann, U.; Holeczek, H.; Klotzbach, U.; Kondruweit-Reinema, S.; Leson, A.; Metzner, M.; Pflug, A.; Zimmr, O.
Konferenzbeitrag
2008Hard and soft magnetic materials for electromagnetic microactuators
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Lüthje, H.; Gatzen, H.H.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008HIPIMS/HPPMS process design with multi channel pulse pattern controller
Wallendorf, T.; Vergöhl, M.; Werner, O.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2008Investigations on high power impulse magnetron sputtering by optical emission spectroscopy of NiCr in different compositions (40/60 and 80/20)
Gerdes, H.; Schmidt, M.; Wellhausen, J.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2008Multifunctional parts by functionalisation solutions: How to integrate intelligence in rapid parts
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Biehl, S.; Diehl, W.
Konferenzbeitrag
2008Nano-scratch studies on diamond-like carbon coatings on various materials applied in micro actuators
Pape, F.; Yildiz-Unveren, H.H.; Gatzen, H.-H.; Küster, R.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2008Produktionstechnik für funktionale Oberflächen
Heckmann, Ulrike; Bandorf, Ralf; Diehl, Wolfgang; Holeczek, Harald; Klotzbach, Udo; Kondruweit-Reinema, Simone; Leson, Andreas; Metzner, Martin; Pflug, Andreas; Zimmer, Otmar
Zeitschriftenaufsatz
2008Produktionstechnik zur Erzeugung funktionaler Oberflächen
: Bandorf, Ralf (Projektleitung); Diehl, Wolfgang (Mitarb.); Heckmann, Ulrike (Mitarb.); Holeczek, Harald (Mitarb.); Klotzbach, Udo (Mitarb.); Kondruweit-Reinema, Simone (Mitarb.); Leson, Andreas (Mitarb.); Metzner, Martin (Mitarb.); Pflug, Andreas (Mitarb.); Zimmer, Otmar (Mitarb.)
Studie
2008Properties of Nichrome sputtered by HIPIMS in unipolar and DC-superimposed mode
Bandorf, R.; Falkenau, S.; Schiffmann, K.; Gerdes, H.; Heckmann, U.
Konferenzbeitrag
2008Research on promising applications for high power pulse magnetron sputtering
Sittinger, V.; Szyszka, B.; Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Pflug, A.; Christie, D.J.; Ruske, F.
Konferenzbeitrag
2008Smart coatings for intelligent surfaces
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Dietz, A.; Lüthje, H.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2008Studies on diamond-like carbon coatings for the application in micro actuators
Paulkowski, D.; Bandorf, R.; Achilles, S.; Pape, F.; Gatzen, H.H.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2008Thesen und Trends - Mit funktionalen Oberflächen in die Zukunft
Bandorf, Ralf; Diehl, Wolfgang; Heckmann, Ulrike; Holeczek, Harald; Klotzbach, Udo; Kondruweit-Reinema, Simone; Leson, Andreas; Metzner, Martin; Pflug, Andreas; Zimmer, Otmar
Zeitschriftenaufsatz
2008Tribological improvement of moving microparts by application of thin films and micropatterning
Bandorf, R.; Paulkowski, D.M.; Schiffmann, K.I.; Küster, R.L.A.
Zeitschriftenaufsatz
2008Tribology of carbon based coatings on patterned surfaces in flat-flat micro contact
Paulkowski, D.; Bandorf, R.; Schiffmann, K.
Konferenzbeitrag
2008Vorrichtung und Verfahren zum Hochleistungs-Puls-Gasfluss-Sputtern
Bandorf, R.; Jung, T.; Ortner, K.
Patent
2007Diamond-like carbon for MEMS
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Doering, L.; Limmer, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Hart- und weichmagnetische Materialien für elektromagnetische Mikroaktoren
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Lüthje, H.; Gatzen, H.H.
Konferenzbeitrag
2007High power pulse magnetron sputtering
Vergöhl, M.; Bandorf, R.; Giesel, P.
Konferenzbeitrag
2007High rate deposition of magnetic material by gas flow sputtering
Bandorf, R.; Bloche, A.; Ortner, K.; Lüthje, H.; Jung, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007High rate deposition of soft magnetic thick films by gas flow sputtering
Bandorf, R.; Bloche, A.; Ortner, K.; Jung, T.
Konferenzbeitrag
2007Investigation of HPPMS titania thin films prepared by unipolar, DC-superimposed and bipolar sputtering
Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Giesel, P.; Wallendorf, T.; Mark, G.
Konferenzbeitrag
2007Longitudinal and transversal piezoresistive effect in hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007Magnetronplasmaanlage
Vergöhl, M.; Bandorf, R.; Mark, G.
Patent
2007Mechanical and piezoresistive properties of diamond-like carbon for MEMS
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2007Mechanische Komponente mit einer Beschichtung und Verfahren zur Messung von Zustandsgroessen an mechanischen Komponenten
Bandorf, R.
Patent
2007Modifications of coatings by DC-sputtering with superimposed HPPMS
Bandorf, R.; Falkenau, S.; Schmidt, V.
Konferenzbeitrag
2007Nano-scratch studies on diamond-like carbon coatings on various materials applied in micro actuators
Pape, F.; Yildiz-Ünveren, R.; Küster, R.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Gatzen, H.H.
Konferenzbeitrag
2007Piezoresistive effect in amorphous carbon thin films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007The piezoresistive effect in diamond-like carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007Piezoresistive effect in DLC films and silicon
Tibrewala, A.; Phataralaoha, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Büttgenbach, S.
Konferenzbeitrag
2007Smart coatings - materials, deposition, and applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Biehl, S.; Sick, J.-H.; Ortner, K.; Jung, T.
Konferenzbeitrag
2007Strukturierte MID-Dünnschichtsysteme
Bandorf, R.; Düsting, J.; Hesse, F.; Klug, U.
Zeitschriftenaufsatz
2007Tribologie amorpher Kohlenstoffschichten auf mikrostrukturierten Oberflächen
Phataralaoha, A.; Paulkowski, D.; Bandorf, R.; Küster, R.; Büttgenbach, S.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2007Vorrichtung und Verfahren zur Kontrolle der kraftschluessigen Verbindung zweier Koerper
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.
Patent
2006Development and fabrication of magnetic thin films
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.H.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006DiaForce Dünnschichtsensoren zur Kraftmessung in extrem steifen adaptronischen Anwendungen
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Melz, T.; Mayer, D.
Konferenzbeitrag
2006Integration von Dünnschichtsensorik in Maschinenkomponenten
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.
Konferenzbeitrag
2006Intelligente Schichten für "denkende Oberflächen"
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Dietz, A.; Lüthje, H.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2006Investigation of reactively sputtered titania thin films prepared by DC, pulsed and highly ionized pulsed power magnetron sputtering
Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Schiffmann, K.; Wallendorf, T.
Konferenzbeitrag
2006Investigation of the piezoresistive properties of nano structured amorphous carbon for force sensor applications
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.; Peiner, E.; Tibrewala, A.
Konferenzbeitrag
2006MEMS-Kraftsensoren mit integrierten Dehnungsmesstreifen aus diamantartigem Kohlenstoff
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2006Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Zeitschriftenaufsatz
2006Microtribology. Carbon based coatings on micro structured surfaces
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Küster, R.; Sick, J.-H.
Konferenzbeitrag
2006Multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like carbon for use in tribological applications
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.
Zeitschriftenaufsatz
2006Piezoresistive diamond-like carbon micro strain gauges
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2006Piezoresistive gauge factor of hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2006Piezoresitive diamond-like carbon micro strain gauges
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2006Sub microsecond resolved OES investigations in a pulsed magnetron discharge for amorphous carbon strain gauge thin film deposition
Wallendorf, T.; Marke, S.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2006Surface integrated thin film sensors for high precision measurement of temperature, wear, pressure and displacement in tribological contacts
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2006Transport and optical properties of amorphous carbon and hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2006Tribology of microsystems
Küster, R.; Bandorf, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2005Different carbon based thin films and their microtribological behaviour in MEMS applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Henke, C.; Wiebe, J.; Sick, J.-H.; Küster, R.
Zeitschriftenaufsatz
2005Entwicklung und Fertigung magnetischer Schichten
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.
Konferenzbeitrag
2005Laser-assisted structuring for the fabrication of thin film sensors on complex 3D-surfaces
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2005Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2005Piezoresistive co-efficient of diamond-like carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Konferenzbeitrag
2005Preparation and characterization of multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like-carbon
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.; Peiner, E.; Tibrewala, A.
Konferenzbeitrag
2005Transport and optical properties of a-C and a-C:H modification films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Rabe, G.T.
Konferenzbeitrag
2005Tribologie von MEMS-Komponenten
Bandorf, R.; Küster, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2005Tribologische lineare Mikroführungen
Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Schiffmann, K.; Sick, J.-H.; Bandorf, R.; Küster, R.
Konferenzbeitrag
2005Verschleißarme Beschichtungen für Mikroaktoren
Küster, R.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.
Konferenzbeitrag
2004Influencing factors on microtribology of DLC films for MEMS and microactuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2004Submicron coatings for micro-tribological applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Beck, M.; Gatzen, H.-H.; Schmidt, M.; Büttgenbach, S.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2004Thin film sensor for wear detection of cutting tools
Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Stint, B.
Zeitschriftenaufsatz
2004Tribological behavior of thin a-C and a-C : H films with different topographic structure under rotating and oscillating motion for dry Lubrication
Bandorf, R.; Luthje, H.; Henke, C.; Sick, J.H.; Kuster, R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2004VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UEBERWACHUNG UND STEUERUNG EINES FAHRZEUGS
Luethje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.
Patent
2004Waelzlager mit integrierter Zustandsmessung
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.
Patent
2003Influence of substrate material and topography on the tribological behaviour of submicron coatings
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Wortmann, A.; Staedler, T.; Wittorf, R.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2003Influence of the initial surface roughness on the wear behaviour of micro probes under rotating and oscillating flat micro contact
Beck, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Gatzen, H.-H.
Konferenzbeitrag
2003Micropatterned thin films for optimisation of the microtribological behaviour in MEMS and microactuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Henke, C.; Sick, J.-H.
Konferenzbeitrag
2003Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Konferenzbeitrag
2003Nano-structured carbon sensor for simultaneous measurement of load and temperature at mechanically strained surfaces
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2003Submikrometerschichten für mikrotribologische Anwendungen
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Beck, M.; Gatzen, H.-H.; Schmidt, M.; Büttgenbach, S.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2003Vorrichtung zur Kontrolle kraftschluessiger Verbindungen
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.
Patent
2002Novel force sensor based on hard diamond-like carbon films
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2002Sub-micron coatings with low friction and wear for micro actuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Staedler, T.; Wortmann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2002Thin film sensor for wear detection of cutting tools
Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Stindt, B.
Konferenzbeitrag
2002Tribologische Sub-Mikrometer Schichten für Mikrosysteme
Bandorf, R.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2002Ultradünne tribologische Schichtsysteme für elektromagnetische Mikroaktuatoren
Bandorf, R.
Dissertation
2001Sub-micron coatings with low friction and wear for micro actuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Staedler, T.; Wortmann, A.
Konferenzbeitrag