Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Laboratory-based EUV spectroscopy for the characterization of thin films, membranes and nanostructured surfaces
Bahrenberg, Lukas; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2019Spectroscopic reflectometry in the extreme ultraviolet for critical dimension metrology
Bahrenberg, Lukas; Danylyuk, Serhiy; Michels, Robert; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2017Verfahren zur hochauflösenden Abbildung eines Oberflächenbereiches bei streifendem Einfall der Messstrahlung
Bahrenberg, Lukas; Herbert, Stefan; Danylyuk, Serhiy
Patent