Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Spectroscopic reflectometry in the extreme ultraviolet for critical dimension metrology
Bahrenberg, Lukas; Danylyuk, Serhiy; Michels, Robert; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2017Characterization of pellicle membranes by lab-based spectroscopic reflectance and transmittance measurements in the extreme ultraviolet
Bahrenberg, L.; Danylyuk, S.; Brose, S.; Pollentier, I.; Timmermans, M.; Gallagher, E.; Stollenwerk, J.; Loosen, P.
Konferenzbeitrag
2017Design of structured YAG:Ce scintillators with enhanced outcoupling for image detection in the extreme ultraviolet
Bahrenberg, L.; Herbert, S.; Mathmann, T.; Danylyuk, S.; Stollenwerk, J.; Loosen, P.
Zeitschriftenaufsatz
2017Optimized phase-shifting masks for high-resolution resist patterning by interference lithography
Brose, S.; Danylyuk, S.; Bahrenberg, L.; Lebert, R.; Loosen, P.; Juschkin, L.
Konferenzbeitrag
2017Verfahren zur hochauflösenden Abbildung eines Oberflächenbereiches bei streifendem Einfall der Messstrahlung
Bahrenberg, Lukas; Herbert, Stefan; Danylyuk, Serhiy
Patent
2015Analysis of distinct scattering of extreme ultraviolet phase and amplitude multilayer defects with an actinic dark-field microscope
Bahrenberg, L.; Herbert, S.; Tempeler, J.; Maryasov, A.; Hofmann, O.; Danylyuk, S.; Lebert, R.; Loosen, P.; Juschkin, L.
Konferenzbeitrag
2015Table-Top EUV and Soft X-Ray Microscopy
Herbert, S.; Bahrenberg, L.; Maryasov, A.; Danylyuk, S.; Loosen, P.; Juschkin, L.; Bergmann, K.; Lebert, R.
Zeitschriftenaufsatz