Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Monolithic optical components for splitting of high-power beams
Jarczynski, M.; Mitra, T.; Ivanenko, M.; Aschke, L.; Wächter, C.; Fuchs, U.; Linke, T.; Kiontke, S.
Konferenzbeitrag
2004High-throughput EUV reflectometer for EUV mask blanks
Lebert, R.; Wies, C.; Juschkin, L.; Jägle, B.; Meisen, M.; Aschke, L.; Sobel, F.; Seitz, H.; Scholze, F.; Ulm, G.; Walter, K.; Neff, W.; Bergmann, K.; Biel, W.
Konferenzbeitrag
2002High-performance 6-inch EUV mask blanks produced under real production conditions by ion-beam sputter deposition
Becker, H.W.; Sobel, F.; Aschke, L.; Renno, M.; Krieger, J.; Buttgereit, U.; Hess, G.; Lenzen, F.; Knapp, K.; Yulin, S.A.; Feigl, T.; Kuhlmann, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
2001Preliminary results from key experiments on sources for EUV lithography
Lebert, R.; Aschke, L.; Bergmann, K.; Dusterer, S.; Gabel, K.; Hoffmann, D.; Loosen, P.; Neff, W.; Nickles, P.; Rosier, O.; Poprawe, R.; Rudolph, D.; Sandner, W.; Sauerbrey, R.; Schmahl, G.; Schwoerer, H.; Stiehl, H.; Will, I.; Ziener, C.
Zeitschriftenaufsatz