Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Lithographic process window optimization for mask aligner proximity lithography
Voelkel, R.; Vogler, U.; Bramati, A.; Erdmann, A.; Ünal, N.; Hofmann, U.; Hennemeyer, M.; Zoberbier, R.; Nguyen, D.; Brugger, J.
Conference Paper
2012Advanced mask aligner lithography (AMALITH)
Völkel, R.; Vogler, U.; Bramati, A.; Weichelt, T.; Stürzebecher, L.; Zeitner, U.D.; Motzek, K.; Erdmann, A.; Hornung, M.; Zoberbier, R.
Conference Paper
2011Cost-effective lithography for TSV-structures
Vogler, U.; Windrich, F.; Schenke, A.; Völkel, R.; Böttcher, M.; Zoberbier, R.
Conference Paper
2011Modellierung und Simulation bei Mask Aligner Lithographie (Source-Mask Optimization)
Vogler, U.; Bramati, A.; Völkel, R.; Hornung, M.; Zoberbier, R.; Motzek, M.; Erdmann, A.; Stürzebecher, L.; Zeitner, U.
Journal Article, Conference Paper
2010Advanced mask aligner lithography: New illumination system
Voelkel, R.; Vogler, U.; Bich, A.; Pernet, P.; Weible, K.J.; Hornung, M.; Zoberbier, R.; Cullmann, E.; Stuerzebecher, L.; Harzendorf, T.; Zeitner, U.D.
Journal Article
2008Technology trends of microlens imprint lithography and wafer level cameras (WLC)
Völkel, R.; Duparré, J.; Wippermann, F.; Dannberg, P.; Bräuer, A.; Zoberbier, R.; Gabriel, M.; Hornung, M.; Hansen, S.; Süss, R.
Conference Paper