Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2011 | Neue multiskalige Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in der Produktion
Lyda, Wolfram; Burla, Avinash; Haist, Tobias; Osten, Wolfgang; Zimmermann, Jan; Sawodny, Oliver; Eigenbrod, Hartmut; Westkämper, Engelbert | Book Article |
| 2011 | Registrierung multimodaler Messungen am Beispiel eines MEMS
Zimmermann, Jan; Sawodny, Oliver; Lyda, Wolfram; Burla, Avinash; Osten, Wolfgang; Eigenbrod, Hartmut; Westkämper, Engelbert; Shaw, Laura; Weckenmann, Albert; Herffurth, Tobias; Duparré, Angela; Tünnermann, Andreas; Staude, Andreas; Goebbels, Jürgen | Book Article |
| 2010 | Verlässlichkeitsanalyse von Indikator-Funktionen in einem Automatisierten Multiskalen-Messsystem
Burla, Avinash; Lyda, Wolfram; Osten, Wolfgang; Regin, Johan; Westkämper, Engelbert; Zimmermann, Jan; Sawodny, Oliver | Journal Article |
| 2007 | Multiskalige Messstrategien für Mikrosysteme
Regin, Johan; Westkämper, Engelbert; Wiesendanger, Tobias; Zimmermann, Jan | Conference Paper |