Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Schichten mit verbesserter Uniformität bei Beschichtungsanlagen mit horizontal rotierender Substratführung mit zusätzlichen Plasmaquellen
Vergöhl, Michael; Pflug, Andreas; Zickenrott, Tobias; Bruns, Stefan
Patent
2020Device and method for coating substrates with planar or shaped surfaces by magnetron sputtering
Vergöhl, Michael; Pflug, Andreas; Bruns, Stefan; Kaiser, André; Melzig, Thomas; Zickenrott, Tobias
Patent
2020Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Schichten mit verbesserter Uniformität bei Beschichtungsanlagen mit horizontal rotierender Substratführung
Vergöhl, Michael; Pflug, Andreas; Bruns, Stefan; Zickenrott, Tobias
Patent
2015Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung unformer Schichten auf bewegten Substraten und derart hergestellten Schichten
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Zickenrott, Tobias
Patent
2014Verfahren und Vorrichtung zur Beeinflussung der Schichtdickenverteilung auf Substraten sowie derart beschichtete Substrate
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Zickenrott, Tobias
Patent