Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Dicing of MEMS devices
Martin, Devin; Sullivan, Scott; Bose, Indranil; Landesberger, Christof; Wieland, Robert
Book Article
2018An approach to reduce greenhouse gases in the semiconductor industry using F2 dissociated in plasma for CVD chamber cleaning
Boudaden, Jamila; Altmannshofer, Stephan; Wieland, Robert; Pittroff, Michael; Eisele, Ignaz
Journal Article
2018Vorrichtung und Verfahren zum anisotropen DRIE-ätzen mit Fluorgasmischung
Wieland, Robert
Patent