Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1998A microstructured silicon substrate for low power multi gas sensor applications
Dura, H.-G.; Mokwa, W.; Werno, J.
Conference Paper
1996Monolithisches Dünnfilmsensorarray zur Analyse von Gasgemischen
Werno, J.; Mokwa, W.
Book Article
1996Untersuchungen an integrierten Dünnfilmsensorarrays zur Analyse von Gasgemischen mittels statischer und dynamischer Verfahren
Werno, J.
Dissertation
1994Entwicklung eines miniaturisierten Feuchtesensors auf der Basis der Silizium-Technologie
Werno, J.; Mokwa, W.; Steegmanns, A.; Vogt, H.
Book Article
1994Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.
Journal Article
1994Reduzierung des Wärmeverlustes von Si-Membranen durch Trenchisolierung
Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.
Book Article
1993Mikrostrukturiertes Sensorsubstrat für ultradünne Schichten
Mokwa, W.; Werno, J.
Book
1993A new microstructured silicon substrate for ultrathin gas-sensitive films
Schütze, A.; Weber, U.; Zacheja, J.; Kohl, D.; Mokwa, W.; Rospert, M.; Werno, J.
Conference Paper
1993Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.
Conference Paper