Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2005Strukturbreitenbestimmung für die sub 100nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung
Weidner, A.
Dissertation
2004Effective-medium model for fast evaluation of scatterometric measurements on gratings
Weidner, A.; Slodowski, M.; Halm, C.; Schneider, C.; Pfitzner, L.
Conference Paper
2004Verfahren zur Bestimmung von Strukturparametern einer Oberflaeche
Weidner, A.; Erdmann, A.; Schneider, C.
Patent